光センサ付き表面検査装置

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：谷義一 (外2名)
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-609758
公開番号（公開出願番号）：特表2002-541445
出願日： 2000年04月06日
公開日（公表日）： 2002年12月03日
要約：

【要約】表面検査装置は、測定機械のスピンドルに装着されるように構成され、2つの相互に直交する軸線周りに回転可能な2つの相対的に回転可能な部分を有する関節ヘッドを含む。さらにこの装置は、相対的に撓まない中空スタイラスキャリア(30)と、相対的に撓む中空スタイラス(32)とを有するスタイラスアセンブリを含む。スタイラスアセンブリには光変換システムが設けられ、このシステムは、光束をスタイラス先端部(36)に向ける固定光源と、光束を固定検出器(42)に再帰反射させる先端部に設けた再帰反射部品(44)とを具えている。この配置は、スタイラスの先端部が表面に当接する場合にスタイラス先端部の横方向変位が直接測定できるようになっている。

請求項（抜粋）：

位置決め装置において使用する表面検査装置であって、ワーク当接先端部と光変換システムとを有する中空スタイラスを有し、前記光変換システムは、スタイラスの先端部に向けてスタイラスの内部に導かれる光束を生成する光源と、光束を受光すると共にスタイラス先端部の横方向変位を示す信号を生成するように光束に対して配置された検出器とを具えている。

IPC (2件)：

G01B 11/00 , G01N 21/88

FI (2件)：

G01B 11/00 A , G01N 21/88 Z

Fターム (22件)：

2F065AA07 , 2F065AA09 , 2F065CC00 , 2F065DD02 , 2F065DD06 , 2F065FF10 , 2F065GG04 , 2F065HH13 , 2F065JJ16 , 2F065LL04 , 2F065LL17 , 2F065LL19 , 2F065LL42 , 2F065LL46 , 2G051AA90 , 2G051AB20 , 2G051BA10 , 2G051BB03 , 2G051CA01 , 2G051CB01 , 2G051CC09 , 2G051CC11

引用特許：

審査官引用 (6件)

特開平3-223609
路面撓み量測定装置及び方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平7-235514 出願人：株式会社トキメック
特開平1-263506

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