特許
J-GLOBAL ID：200903063483064907
ロボットア-ム及びその駆動装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
有我 軍一郎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-065676
公開番号（公開出願番号）：特開2000-208588
出願日： 1999年03月11日
公開日（公表日）： 2000年07月28日
要約：
【要約】【課題】 高清浄な作業空間への塵埃の落下を確実に防止し得るロボットアーム及びその駆動装置を提供する。【解決手段】 複数のリンクからなるアーム連動機構を備えたロボットアームであって、アーム連動機構15が、各一対の第1リンク21a,21b及び第2リンク22a,22bを、各リンクの両端で他のリンクが逆回転するよう連結し、両リンクの何れか21アを一方のアーム11bと一体に連結した一方の四節機構20と、各一対の第3リンク23a,23b及び第4リンク22a,24aを、各リンクの両端で他のリンクが逆回転するよう連結し、両リンクの何れかのリンク23aを他方のアーム12bと一体に連結した他方の四節機構30と、を備え、両機構の特定のリンク間挟角θが互いに一致するようアーム回動中心付近で四節機構20,30の特定のリンク22a同士を一体に連結し、アーム11,12が連動するように構成する。
請求項（抜粋）：
互いに回動可能な一方のアーム及び他方のアームの間に介在し、両アームを連動させる複数のリンクからなるアーム連動機構を備えたロボットアームであって、前記アーム連動機構が、各一対の等長リンクからなる所定の長さ比を有する第1リンク及び第2リンクを、各リンクの両端で他のリンクが逆回転するよう連結し、該第1リンク又は第2リンクの何れかを前記一方のアームと一体に回動するよう該アームに連結した一方の四節機構と、各一対の等長リンクからなる前記所定の長さ比を有する第3リンク及び第4リンクを、各リンクの両端で他のリンクが逆回転するよう連結し、該第3リンク又は第4リンクの何れかを前記他方のアームと一体に回動するよう該アームに連結した他方の四節機構と、を備え、該一方及び他方の四節機構の特定のリンク間挟角が互いに一致するよう前記一方及び他方のアームの回動中心付近で一方及び他方の四節機構の特定のリンク同士を一体に連結して、前記一方及び他方のアームが互いに接近及び離隔する方向に連動して回動するようにしたことを特徴とするロボットアーム。
IPC (2件)：
FI (2件)：
H01L 21/68 A
, B25J 9/06 E
5F031CA02
, 5F031GA44
, 5F031GA47
, 5F031GA50
出願人引用 (3件)
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搬送装置
公報種別：公開公報
出願番号：特願平10-343585
出願人：東京エレクトロン株式会社
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搬送装置
公報種別：公開公報
出願番号：特願平6-131367
出願人：日本電気株式会社
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被処理物の搬送装置および処理装置
公報種別：公開公報
出願番号：特願平6-024095
出願人：株式会社東芝
審査官引用 (3件)
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搬送装置
公報種別：公開公報
出願番号：特願平10-343585
出願人：東京エレクトロン株式会社
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搬送装置
公報種別：公開公報
出願番号：特願平6-131367
出願人：日本電気株式会社
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被処理物の搬送装置および処理装置
公報種別：公開公報
出願番号：特願平6-024095
出願人：株式会社東芝
引用文献：
出願人引用 (1件)
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新編機械の素, 19661030, 第80頁及び第87頁
審査官引用 (3件)
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新編機械の素, 19661030, 第80頁及び第87頁
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新編機械の素, 19661030, 第80頁及び第87頁
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新編機械の素, 19661030, 第80頁及び第87頁
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