搬送装置

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：小原肇
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-343585
公開番号（公開出願番号）：特開2000-150617
出願日： 1998年11月17日
公開日（公表日）： 2000年05月30日
要約：

【要約】【課題】例えば半導体ウエハの処理室は高温で腐食性の高い環境である場合が多く、このような環境に対してスチールベルト等のベルトを有するアームを出し入れすると、ベルトが高温下の腐食性環境に曝されることになる。スチールベルト等のベルトは耐熱性、耐食性に限度があり、処理室等の高温、腐食性環境下では寿命が短くなる。【解決手段】本発明の搬送装置は、フロッグレッグ式アーム3と、これに連結されたウエハ保持体4とを備え、ウエハ保持体4は、第1、第2の前部アーム8A、8Bそれぞれの先端部に同軸構造の関節10を介して軸支されてなり、且つ、第1、第2の前部アーム8A、8Bとウエハ保持体4とを互いに連結する2つの逆平行リンク機構からなる姿勢保持リンク5を設け、この姿勢保持リンクを介して第1、第2の前部アーム8A、8Bに対するウエハ保持体4の回転を規制することを特徴とする。

請求項（抜粋）：

支持体と、この支持体で支持された第1、第2の軸と、第1、第2の軸に基端部で連結されたフロッグレッグ式アームと、このフロッグレッグ式アームの先端部に連結された、被搬送体を保持する保持体とを備えた搬送装置において、上記フロッグレッグ式アームは、第1の軸に基端部が軸支された回転可能な第1の駆動アームと、第2の軸に基端部が軸支された回転可能な第2の駆動アームと、第1の駆動アームの先端部に第1の関節を介して基端部が軸支された回転可能な第1の前部アームと、第2の駆動アームの先端部に第2の関節を介して基端部が軸支された回転可能な第2の前部アームとを備え、上記保持体は、第1、第2の前部アームそれぞれの先端部に第3、第4の関節を介して軸支されてなり、且つ、第1、第2の前部アームと上記保持体とを互いに連結する2つの相似な逆平行リンク機構からなる姿勢保持リンクを設け、この姿勢保持リンクを介して第1、第2の前部アームに対する上記保持体の回転を規制することを特徴とする搬送装置。

IPC (3件)：

H01L 21/68 , B25J 9/06 , B25J 18/02

FI (3件)：

H01L 21/68 A , B25J 9/06 D , B25J 18/02

Fターム (16件)：

3F060EA01 , 3F060EB12 , 3F060EC12 , 3F060GB13 , 5F031CA02 , 5F031FA01 , 5F031GA03 , 5F031GA43 , 5F031GA47 , 5F031GA48 , 5F031MA28 , 5F031MA29 , 5F031MA30 , 5F031NA05 , 5F031NA13 , 5F031PA26

引用特許：

審査官引用 (8件)

ロボットア-ム及びその駆動装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平11-065676 出願人：帝人製機株式会社
特開平3-239483
ウエハ搬送装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平8-330316 出願人：東京エレクトロン株式会社

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引用文献：

審査官引用 (2件)

新編機械の素
新編機械の素

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