位置決め機構

発明者： ,
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-228680
公開番号（公開出願番号）：特開2008-051674
出願日： 2006年08月25日
公開日（公表日）： 2008年03月06日
要約：

【課題】従来の光干渉計の分解能を上回る高分解能を正確に実現する位置決め機構を実現する。【解決手段】光コムを利用して得られる第1及び第2の波長の光を、それぞれマッハツェンダー干渉計4で干渉させる際、マッハツェンダー干渉計4の測定光路中にコーナーリフレクタ1及びコーナーリフレクタ2を設け、第1の波長の光はコーナーリフレクタ1とコーナーリフレクタ2を通し、第2の波長はコーナーリフレクタ2のみを通し、コーナーリフレクタ1のみを移動させ、第1の波長の光と第2の波長の光に位相差をおこし、この位相差を0に保障するようにコーナーリフレクタ2を移動させるとき、コーナーリフレクタ2の移動量は波長1と波長2の比で決まる倍率でコーナーリフレクタ1の移動量を縮小した移動量になる。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

光源において光コムを利用して得た第1及び第2の波長の光を、それぞれマッハツェンダ干渉計により干渉させて被測定体の位置決めを行う位置決め機構において、光コムをもとに光源を構成して用いることによって正確なズーム比を得ることで、被測定体の位置決めを正確に行うことを特徴とする位置決め機構。

IPC (1件)：

G01B 9/02

FI (1件)：

G01B9/02

Fターム (18件)：

2F064AA01 , 2F064CC04 , 2F064CC05 , 2F064CC08 , 2F064EE04 , 2F064FF01 , 2F064FF02 , 2F064FF06 , 2F064GG16 , 2F064GG20 , 2F064GG22 , 2F064GG44 , 2F064GG53 , 2F064GG64 , 2F064GG70 , 2F064HH06 , 2F064JJ01 , 2F064JJ05

引用特許：

出願人引用 (7件)

特許2690041号公報
高精度ステージ
公報種別：公開公報出願番号：特願平7-237984 出願人：工業技術院長
距離測定装置
公報種別：公開公報出願番号：特願2004-379689 出願人：独立行政法人産業技術総合研究所, 株式会社トプコン

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審査官引用 (6件)

高精度ステージ
公報種別：公開公報出願番号：特願平7-237984 出願人：工業技術院長
距離測定装置
公報種別：公開公報出願番号：特願2004-379689 出願人：独立行政法人産業技術総合研究所, 株式会社トプコン
周波数安定化レーザー装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-066468 出願人：財団法人電力中央研究所

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