表面形状測定方法及び表面形状測定器

発明者： , ,
出願人/特許権者： ,
代理人 (1件)：和泉良彦 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-264937
公開番号（公開出願番号）：特開2002-071326
出願日： 2000年09月01日
公開日（公表日）： 2002年03月08日
要約：

【要約】【課題】ウエハ表面、あるいは光学素子などの段差形状、さらに表面の面荒さや面形状などの表面形状を非接触、かつ被測定物の広範囲の領域について高速で測定でき、しかも光の干渉を利用して直接測定するため、誤差要因の発生がない、高精度の表面形状測定方法及び表面形状測定器を提供する。【解決手段】2つの2波長レーザー光からなり、その一方のレーザー光を所望のビーム形状に調整して直接、測定対象に入射させ、これによる測定対象からの反射光と他方の2波長レーザー光とを光ヘテロダイン干渉させ、この光ヘテロダイン干渉光に含まれる、測定対象上の照射された領域の表面形状に対応する位相差情報から、該表面形状を算出する。

請求項（抜粋）：

偏光面が互いに垂直で、周波数が異なる2周波光を発生させ、前記2周波光を第1の2周波光、第2の2周波光の2つに分割し、前記第1の2周波光、前記第2の2周波光の少なくとも一方の周波数をシフトさせ、前記第1の2周波光を所望のビーム形状に調整して被測定物体上に入射させ、前記第2の2周波光と、前記被測定物体によって反射された前記第1の2周波光とをそれぞれ合成して、光ヘテロダイン干渉光を得、前記光ヘテロダイン干渉光を、偏光面の異なる第1の光ヘテロダイン干渉光と第2の光ヘテロダイン干渉光に分離し、前記第1の光ヘテロダイン干渉光から第1の位相差信号を検出し、前記第2の光ヘテロダイン干渉光から第2の位相差信号を検出し、前記第1の位相差信号と前記第2の位相差信号に基づいて、前記被測定物体の表面形状を算出することを特徴とする表面形状測定方法。

IPC (3件)：

G01B 11/24 , G01B 11/00 , H01L 21/027

FI (4件)：

G01B 11/00 G , G01B 11/24 D , H01L 21/30 511 , H01L 21/30 531 J

Fターム (47件)：

2F065AA06 , 2F065AA25 , 2F065AA50 , 2F065AA52 , 2F065AA53 , 2F065BB02 , 2F065BB17 , 2F065BB18 , 2F065CC18 , 2F065CC19 , 2F065CC20 , 2F065CC22 , 2F065DD06 , 2F065FF04 , 2F065FF49 , 2F065FF52 , 2F065GG04 , 2F065GG23 , 2F065HH04 , 2F065HH09 , 2F065HH13 , 2F065JJ03 , 2F065JJ05 , 2F065JJ26 , 2F065KK03 , 2F065LL04 , 2F065LL12 , 2F065LL33 , 2F065LL34 , 2F065LL35 , 2F065LL37 , 2F065LL46 , 2F065LL57 , 2F065PP22 , 2F065PP24 , 2F065QQ00 , 2F065QQ14 , 2F065QQ26 , 2F065UU01 , 2F065UU02 , 2F065UU05 , 2F065UU07 , 5F046CC16 , 5F046DB05 , 5F046GA02 , 5F046GA14 , 5F046GA18

引用特許：

審査官引用 (2件)

表面形状測定方法及び表面形状測定器
公報種別：公開公報出願番号：特願平7-082382 出願人：日本電信電話株式会社
2次元位相情報検出装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-096511 出願人：浜松ホトニクス株式会社

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