特許
J-GLOBAL ID：200903063506323379
有機電子発光素子の薄膜蒸着用マスクフレーム組立体
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (4件)：
大塚 康徳
, 高柳 司郎
, 大塚 康弘
, 木村 秀二
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-158443
公開番号（公開出願番号）：特開2004-014513
出願日： 2003年06月03日
公開日（公表日）： 2004年01月15日
要約：
【課題】マスキングパターン部の大型化による蒸着パターンの歪曲を減らし、蒸着パターン間のトータルピッチの調整が容易であり、望ましくない位置に蒸着されることを防止できる有機電子発光素子の薄膜蒸着用マスクフレーム組立体を提供する。【解決手段】開口部が形成されたフレームと、前記フレームに引張り力が加えらるべく両端部が固定され、それぞれ単位マスキングパターン部を有して互いに所定の幅に重畳される少なくとも2つの単位マスク部材を備え、前記単位マスク部材の少なくとも重畳される部分には、その重畳部の厚さが実質的に単位マスク部材の厚さと同一にそれぞれ引入み部が形成されたマスクを含むことを特徴とする有機電子発光素子の薄膜蒸着用マスクフレーム組立体。【選択図】 図4
請求項（抜粋）：
開口部が形成されたフレームと、
前記フレームに引張り力が加えらるべく両端部が固定されてそれぞれ単位マスキングパターン部を有して互いに所定幅で重畳される少なくとも2つの単位マスク部材を備え、前記単位マスク部材の少なくとも重畳する部分にはその重畳の厚さが実質的に単位マスク部材の厚さと同一になるようにそれぞれ引込み部が形成されたマスクと、
を含むことを特徴とする有機電子発光素子の薄膜蒸着用マスクフレーム組立体。
IPC (3件)：
H05B33/10
, C23C14/04
, H05B33/14
H05B33/10
, C23C14/04 A
, H05B33/14 A
3K007AB18
, 3K007DB03
, 3K007FA01
, 4K029BA62
, 4K029BB02
, 4K029BC07
, 4K029CA01
, 4K029DB06
, 4K029HA03
, 4K029HA04
