特許
J-GLOBAL ID：200903063572744555
圧電センサ
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
原 謙三
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-322301
公開番号（公開出願番号）：特開2004-156991
出願日： 2002年11月06日
公開日（公表日）： 2004年06月03日
要約：
【課題】耐熱性に優れ、なおかつ簡単な構造で低価格の圧電センサを提供する。【解決手段】金属ダイアフラム10に下地層11、圧電薄膜層12、上部電極13がこの順に積層されてなる圧力検知手段3において、圧電薄膜層12がキュリー点を持たない窒化アルミニウム(AlN)や酸化亜鉛(ZnO)もしくはこれら材料と同効の圧電材料より形成され、双極子配向度が75%以上である。圧電センサがこの圧力検知手段3を備えることにより、圧電特性を良好に保ちつつ、耐熱性や耐久性があり、構造が簡単なものとなる。【選択図】 図2
請求項（抜粋）：
圧力を伝達する圧力伝達手段と、上記圧力伝達手段により伝達される圧力を受けて電気信号に変換する圧電素子と、を含む圧力検知手段を備えた圧電センサにおいて、
上記圧電素子が、キュリー点の存在しない圧電材料よりなり、その双極子配向度が75%以上であることを特徴とする圧電センサ。
IPC (2件)：
FI (2件)：
Fターム (10件)：
2F055AA23
, 2F055BB12
, 2F055CC02
, 2F055DD01
, 2F055DD09
, 2F055EE23
, 2F055FF01
, 2F055FF43
, 2F055GG01
, 2F055GG11
