放射線硬化型熱剥離性粘着シート、及びこれを用いた切断片の製造方法

発明者： , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：後藤幸久
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-038899
公開番号（公開出願番号）：特開2001-226650
出願日： 2000年02月16日
公開日（公表日）： 2001年08月21日
要約：

【要約】【課題】被着体の輸送等の搬送工程に耐え得る粘着性を有すると共に、切断工程時には粘着剤の巻き上げやチッピングが起こらず、しかも、切断後の切断片の剥離回収を容易に行うことができる放射線硬化型熱剥離性粘着シートを得る。【解決手段】放射線硬化型熱剥離性粘着シートは、基材の少なくとも一方の側に、熱膨張性微小球及び放射線硬化性化合物を含有する粘着層が設けられている。この放射線硬化型熱剥離性粘着シートの粘着層表面に被切断体を載置し、該粘着層を放射線照射により硬化させた後、前記被切断体を切断して切断片とし、次いで該粘着層を加熱により発泡させて、前記切断片を剥離回収することにより、工程上の不具合を起こすことなく効率よく切断片を製造することができる。

請求項（抜粋）：

基材の少なくとも一方の側に、熱膨張性微小球及び放射線硬化性化合物を含有する粘着層が設けられている放射線硬化型熱剥離性粘着シート。

IPC (4件)：

C09J 7/02 , C09J 11/00 , C09J201/00 , H01L 21/301

FI (5件)：

C09J 7/02 Z , C09J 11/00 , C09J201/00 , H01L 21/78 M , H01L 21/78 P

Fターム (37件)：

4J004AA04 , 4J004AA05 , 4J004AA10 , 4J004AA11 , 4J004AA17 , 4J004AB01 , 4J004AB06 , 4J004AB07 , 4J004AC03 , 4J004CA04 , 4J004CA05 , 4J004CA06 , 4J004CC02 , 4J004DB02 , 4J004FA05 , 4J004FA08 , 4J004GA01 , 4J040CA001 , 4J040DC072 , 4J040DD022 , 4J040DD072 , 4J040DF031 , 4J040DF082 , 4J040EJ032 , 4J040EK001 , 4J040JA09 , 4J040JB07 , 4J040KA02 , 4J040KA35 , 4J040LA06 , 4J040MA02 , 4J040MA04 , 4J040MA05 , 4J040MA10 , 4J040MB09 , 4J040NA19 , 4J040NA20

引用特許：

審査官引用 (6件)

特開昭63-017981
特開昭63-030581
特開昭63-078547

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