特許

J-GLOBAL ID：200903063611343083

表面分析装置

発明者： 脇山 茂 ,  藤野 直彦
出願人/特許権者： セイコーインスツルメンツ株式会社 ,  三菱電機株式会社
代理人 (1件)： 林 敬之助
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-099351
公開番号（公開出願番号）：特開平10-288618
出願日： 1997年04月16日
公開日（公表日）： 1998年10月27日
要約：

【要約】【課題】 低い周波数成分を有する装置設置場所においても床振動からの外乱成分を減少させる除振台を組み込み、低周波数成分ノイズを出力結果より減少させ分解能の高いプロ-ブ顕微鏡の提供を目的とするものである。【解決手段】 床振動による除振台定盤14への振動を変位計15や加速度計16等を用いて検出し、この振動と逆位相の振動を除振台定盤14に与えることで、床からの振動を除振台定盤14上で低減し、低周波から高周波数成分を有する装置設置場所においても床振動からの外部振動成分を減少させる、いわゆるアクテイ ブ除振台を搭載したプロ-ブ顕微鏡を構成する。

請求項（抜粋）：

試料と試料から受ける原子間力等の物理量を検出する検出部を3次元的に相対移動させる、粗い位置決め粗動ステ-ジ及び微細な位置決め微動機構と、前記試料と前記原子間力等の物理量を検出する検出部との距離を一定に保つ制御手段と、設置環境からくる振動伝達を低減させる除振台と、装置の粗動および微動を行う機構、原子間力等の物理量を検出する検出部等を制御する制御電装部及び制御用のコンピュータを有した構成からなる、試料表面の形状及び状態等を観察、評価するステ-ジ付プロ-ブ顕微鏡において、前記除振台の構成が床振動等の設置環境からくる振動に対し、除振台定盤の変動量を検出する手段と前記振動変動に対し、逆位相の振動を付加することで強制的に変動を低減させる制御可能な除振台を構成要素として有しているステ-ジ付プロ-ブ顕微鏡。

IPC (2件)：

G01N 37/00 ,  G01B 21/30

FI (2件)：

G01N 37/00 A ,  G01B 21/30 Z

引用特許：

審査官引用 (4件)

• 除振台のアクテイブ制御方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平3-282280   出願人：特許機器株式会社
• 能動型除振装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平6-158542   出願人：オリンパス光学工業株式会社
• 能動防振装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-332970   出願人：住友電気工業株式会社
• 除振装置及び露光装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平7-251888   出願人：株式会社ニコン