特許

J-GLOBAL ID：200903063612768428

酸化亜鉛膜の製造方法

発明者： 山本 哲也 ,  酒見 俊之 ,  白方 祥
出願人/特許権者： 住友重機械工業株式会社
代理人 (1件)： 伊東 忠彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-083050
公開番号（公開出願番号）：特開2004-292839
出願日： 2003年03月25日
公開日（公表日）： 2004年10月21日
要約：

【課題】電子密度を制御することができる酸化亜鉛膜の製造方法を提供する。【解決手段】成膜室で、ドーパントとして第3族元素またはその酸化物を用いて酸化亜鉛を被成膜材料に付着させて酸化亜鉛膜を製造する。このとき、予め把握した酸化亜鉛膜の電子密度と成膜室の酸素分圧の関係に基づいて、酸素分圧を調整して所定の電子密度を得る。また、所定の電子密度が8×1020/cm3以上の範囲において、電子密度と酸素分圧の負相関式に基づいて酸素分圧を調整する。【選択図】 なし

請求項（抜粋）：

成膜室で、ドーパントとして第3族元素またはその酸化物を用いて酸化亜鉛を被成膜材料に付着させて酸化亜鉛膜を形成する酸化亜鉛膜の製造方法において、 予め把握した酸化亜鉛膜の電子密度と成膜室の酸素分圧の関係に基づいて、酸素分圧を調整して所定の電子密度を得ることを特徴とする酸化亜鉛膜の製造方法。

IPC (2件)：

C23C14/08 ,  C23C14/32

FI (2件)：

C23C14/08 C ,  C23C14/32 Z

Fターム (9件)：

4G059AA08 ,  4G059AC12 ,  4G059EA01 ,  4G059EB03 ,  4K029AA09 ,  4K029BA49 ,  4K029BC09 ,  4K029CA03 ,  4K029EA05

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 透明導電薄膜の製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-161662   出願人：東燃株式会社
• 成膜方法及び成膜装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2001-033727   出願人：住友重機械工業株式会社