特許
J-GLOBAL ID:200903063614521128

プラズマディスプレイパネルの製造方法

発明者:
出願人/特許権者:
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平9-295579
公開番号(公開出願番号):特開平11-135005
出願日: 1997年10月28日
公開日(公表日): 1999年05月21日
要約:
【要約】【課題】高アスペクト比かつ高精度の隔壁を有するプラズマディスプレイパネルの製造方法を提供する。【解決手段】基板上に隔壁が形成されたプラズマディスプレイパネルの製造方法であって、無機微粒子ならびに感光性化合物および重合禁止剤を必須成分として含む有機成分からなる感光性ペーストを基板上に塗布した後、フォトマスクを介して露光を行い、露光されていない部分を現像により溶出してパターンを形成した後、焼成により有機成分を除去して前記隔壁を形成することを特徴とするプラズマディスプレイパネルの製造方法。
請求項(抜粋):
基板上に隔壁が形成されたプラズマディスプレイパネルの製造方法であって、無機微粒子ならびに感光性化合物および重合禁止剤を必須成分として含む有機成分からなる感光性ペーストを基板上に塗布した後、フォトマスクを介して露光を行い、露光されていない部分を現像により溶出してパターンを形成した後、焼成により有機成分を除去して前記隔壁を形成することを特徴とするプラズマディスプレイパネルの製造方法。
引用特許:
審査官引用 (6件)
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