特許
J-GLOBAL ID：200903063650333745
窒化アルミニウム焼結体、その製造方法及び用途
発明者：
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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-017640
公開番号（公開出願番号）：特開平7-257973
出願日： 1994年02月14日
公開日（公表日）： 1995年10月09日
要約：
【要約】 (修正有)【目的】 ヒートショックやヒートサイクル等の熱衝撃、熱履歴に対して十分に高い耐久性をもった窒化アルミニウム焼結体と回路基板を提供する。【構成】 焼結体表面から100μm以内の部分に存在する粒界層の割合Esが8〜20%で、厚み方向の中心部分から±100μm以内の部分に存在する粒界層の割合Eiが16%以下であり、しかもEs/Eiが1.25以上であることを特徴とする耐熱衝撃性に優れた窒化アルミニウム焼結体、窒化アルミニウム焼結体を製造する方法において、焼成後、温度1700°Cまでを冷却速度を8°C/分以下にして冷却することを特徴とする上記窒化アルミニウム焼結体の製造方法、厚み0.3mm以上である上記窒化アルミニウム焼結体を基板としその表面に厚み0.3mm以上の金属回路を形成させてなることを特徴とする回路基板。
請求項（抜粋）：
焼結体表面から100μm以内の部分に存在する粒界層の割合Esが8〜20%で、厚み方向の中心部分から±100μm以内の部分に存在する粒界層の割合Eiが16%以下であり、しかもEs/Eiが1.25以上であることを特徴とする耐熱衝撃性に優れた窒化アルミニウム焼結体。
IPC (2件)：
引用特許：
出願人引用 (5件)
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審査官引用 (7件)
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