特許
J-GLOBAL ID:200903063689497958

超音波探触子、アレイ探触子および超音波探触子の製造方法

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 平田 忠雄
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2006-070929
公開番号(公開出願番号):特開2007-251505
出願日: 2006年03月15日
公開日(公表日): 2007年09月27日
要約:
【課題】振動の変位に対する変位電流の直線応答性を良くすることにより、感度のさらなる向上を図った超音波探触子、アレイ探触子および超音波探触子の製造方法を提供する。【解決手段】超音波探触子100は、基板101と、基板101上に設けられた下部電極102と、下部電極102の周囲に設けられたスペーサ106と、スペーサ106の上面に張られた膜状の上部電極107と、上部電極107の表面に設けられた保護膜108とを備えてなるダイヤフラム構造を有し、下部電極102は、振動する上部電極107が最も凹んだ形状を取る瞬間に描く曲線に沿った形状を有する。【選択図】 図1
請求項(抜粋):
超音波の送受信時に振動子として働く第1の電極、前記第1の電極に所定の間隔を有して対向配置された第2の電極、を備えてなるダイヤフラム構造を有し、 前記第2の電極は、前記第1の電極が撓んだ状態で描く曲線に沿った形状を有することを特徴とする超音波探触子。
IPC (5件):
H04R 19/00 ,  G01N 29/24 ,  A61B 8/00 ,  H04R 1/40 ,  H04R 31/00
FI (5件):
H04R19/00 330 ,  G01N29/24 502 ,  A61B8/00 ,  H04R1/40 330 ,  H04R31/00 330
Fターム (14件):
2G047AC13 ,  2G047BC10 ,  2G047GA13 ,  2G047GB02 ,  4C601EE03 ,  4C601EE13 ,  4C601GB02 ,  4C601GB06 ,  4C601GB41 ,  5D019AA21 ,  5D019DD01 ,  5D019EE02 ,  5D019FF04 ,  5D019HH03
引用特許:
出願人引用 (2件)

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