マイクロマシン加工した湾曲超音波トランスジューサ・アレイ並びに関連する製造方法

発明者： , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (4件)：松本研一 , 小倉博 , 伊藤信和 , 黒川俊久
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-380329
公開番号（公開出願番号）：特開2005-210710
出願日： 2004年12月28日
公開日（公表日）： 2005年08月04日
要約：

【課題】音響動作性能の利点を損なうことなく湾曲した基板を製作する方法を提供する。【解決手段】超音波トランスジューサ・アレイなどの湾曲したセンサ・デバイスは、マイクロマシン加工電子機械システム(MEMS)技法を用いて製造されたマイクロマシン加工した平坦なセンサ(cMUTやpMUTなど)のアレイから製作される。本デバイスは、概して湾曲したプロフィールを有するスパイン及びこの湾曲したスパインの一方の側から延びる多数の歯を備えた支持構造(22、26)と、この支持構造上に構築された多数のセンサ(24)と、を備えている。このスパインは前方向または後方向に曲げて支持部材の湾曲した前面に取り付け、これによりそのセンサを湾曲したアレイに適応させることができる。【選択図】図5

請求項（抜粋）：

概して湾曲したプロフィールを有するスパイン及び該湾曲したスパインの一方の側から延びる多数の歯を備えた支持構造(22、26)と、前記支持構造によって湾曲した開口が設けられるような位置に支持された多数のマイクロマシン加工したセンサ(24)と、を備えるセンサ・デバイス。

IPC (4件)：

H04R17/00 , A61B8/00 , G01N29/24 , G01S7/521

FI (4件)：

H04R17/00 332A , A61B8/00 , G01N29/24 502 , G01S7/52 A

Fターム (21件)：

2G047CA01 , 2G047DB06 , 2G047EA14 , 2G047GA02 , 2G047GB02 , 2G047GB32 , 4C601BB25 , 4C601EE12 , 4C601GA03 , 4C601GB04 , 4C601GB41 , 5D019BB18 , 5D019FF01 , 5J083AB17 , 5J083AC31 , 5J083AE08 , 5J083CA12 , 5J083CA24 , 5J083CA32 , 5J083CA50 , 5J083CB14

引用特許：

出願人引用 (2件)

米国特許第5,637,800号
米国特許第6,359,367号

審査官引用 (8件)

超音波装置
公報種別：公開公報出願番号：特願2000-003085 出願人：株式会社日立メディコ
特開平1-099535
超音波探触子およびその製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願2000-209927 出願人：株式会社日立製作所, 株式会社日立メディコ

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