特許
J-GLOBAL ID：200903063750272948

微小試料台、その作成方法、微小試料台集合体、および試料ホルダ

発明者：
池田 大輔

池田 大輔 について

, 
岩崎 浩二

岩崎 浩二 について


出願人/特許権者：
アオイ電子株式会社

アオイ電子株式会社 について

, 
エスアイアイ・ナノテクノロジー株式会社

エスアイアイ・ナノテクノロジー株式会社 について


代理人 (1件)： 永井 冬紀
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2007-016366
公開番号（公開出願番号）：特開2008-185338
出願日： 2007年01月26日
公開日（公表日）： 2008年08月14日
要約：
【課題】試料ホルダを運搬中に微小試料片Sの破損を回避すること。【解決手段】微小試料台10は、全てシリコン製であり、基部11、固定部12及びガード部13を有する。微小試料片Sは、固定部12の頂部に立てて固定される。微小試料台10は、基部11の上面11Aに2本の固定部12と3本のガード部13が交互に突設された一体化構造である。ガード部13の厚さは固定部12よりも厚く、ガード部13の高さ(Z方向の長さ)は固定部12よりも高く作製する。【選択図】図2
請求項（抜粋）：
加工処理が施される微小試料を固定するための微小試料台であって、 基部と、 前記基部に立設され、前記微小試料が固定される固定部と、 前記固定部を挟んで前記基部に設けられるガード部とを設けることを特徴とする微小試料台。
IPC (1件)：
G01N 1/28
FI (3件)：
G01N1/28 W ,  G01N1/28 F ,  G01N1/28 G
Fターム (8件)：
2G052AA13 ,  2G052AD12 ,  2G052AD32 ,  2G052AD52 ,  2G052EC16 ,  2G052EC22 ,  2G052FA02 ,  2G052GA34
引用特許：
出願人引用 (1件) 審査官引用 (2件)

前のページに戻る

TOP

BOTTOM