特許
J-GLOBAL ID:200903063847787390

保護層を備えた樹脂製光導波路、その製造方法および光部品

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 富田 和子 (外1名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平11-291411
公開番号(公開出願番号):特開2001-074949
出願日: 1999年09月05日
公開日(公表日): 2001年03月23日
要約:
【要約】【課題】低屈折率のポリイミド製上部クラッドを有しながら、耐溶剤性の高い光導波路を提供する。【解決手段】基板14と、基板14上に順に積層された、下部クラッド層15とコア層16と上部クラッド層20と、上部クラッド層20の上に配置された保護層24とを有する。上部クラッド層20は、フッ素を含む樹脂からなり、保護層24は、上部クラッド層20よりもフッ素の含有量が少ないか、もしくは、フッ素を含有していない樹脂からなる。
請求項(抜粋):
基板と、前記基板上に順に積層された、下部クラッド層とコア層と上部クラッド層と、前記上部クラッド層の上に配置された保護層とを有し、前記上部クラッド層は、フッ素を含む樹脂からなり、前記保護層は、前記上部クラッド層よりもフッ素の含有量が少ないか、もしくは、フッ素を含有していない材料からなることを特徴とする光導波路。
Fターム (6件):
2H047PA02 ,  2H047PA21 ,  2H047PA24 ,  2H047QA05 ,  2H047QA07 ,  2H047TA00
引用特許:
出願人引用 (11件)
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審査官引用 (14件)
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