特許

J-GLOBAL ID：200903063903670719

温度制御方法及びその制御装置

発明者： 泉 憲司 ,  大西 辰明
出願人/特許権者： 日本スピンドル製造株式会社
代理人 (1件)： 森 治 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-169147
公開番号（公開出願番号）：特開2002-366233
出願日： 2001年06月05日
公開日（公表日）： 2002年12月20日
要約：

【要約】【課題】 ステップサーモ方式を改良し、各装置の発停の回数を押さえて精密温度制御を可能とすることができるようにしたクリーンルームの温度制御方法及びその制御装置を提供すること。【解決手段】 基準設定温度とその上限値、下限値を複数設定したステップサーモ式温度制御において、温度検出器10から印加される信号により繰り返される最適な温度制御範囲を判断し、設定する温度制御範囲を変更せしめそれを基準として温度制御を行うことを特徴とする。

請求項（抜粋）：

基準設定温度とその上限値、下限値を複数設定したステップサーモ式温度制御において、温度検出器から印加される信号により繰り返される最適な温度制御範囲を判断し、設定する温度制御範囲を変更せしめそれを基準として温度制御を行うことを特徴とする温度制御方法。

IPC (2件)：

G05D 23/19 ,  F24F 11/02

FI (2件)：

G05D 23/19 H ,  F24F 11/02 Z

Fターム (10件)：

3L060AA06 ,  3L060CC02 ,  3L060DD05 ,  5H323AA40 ,  5H323BB17 ,  5H323CA02 ,  5H323CB01 ,  5H323CB45 ,  5H323EE02 ,  5H323NN03

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 空気の温湿度調整装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-173085   出願人：日本スピンドル製造株式会社
• 冷凍装置の制御方式
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平6-010286   出願人：株式会社日立製作所
• 特公平8-020127