圧力変動減衰システム

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：特許業務法人明成国際特許事務所
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-607777
公開番号（公開出願番号）：特表2002-540518
出願日： 2000年02月22日
公開日（公表日）： 2002年11月26日
要約：

【要約】【課題】【解決手段】給水設備から供給される水圧を高めるための加圧装置および方法が提供されている。加圧装置は、ウエハ設備と半導体基板洗浄システムとの間に接続される。加圧装置は、給水設備に接続するポンプ流入部と、給水設備によって供給される水圧よりも大きい、変動する加圧水を発生させるよう構成されたポンプ流出部とを有するポンプを備えている。さらに、変動する加圧水をポンプ流出部から受け入れるための減衰器流入部を有する圧力減衰器が備えられている。圧力減衰器は、変動する加圧水の圧力変動を部分的に減少させるよう構成されている。圧力減衰器は、減衰器流出部も有している。また、減衰器の流出を受け入れるための調整器流入部を有する圧力調整器が、加圧装置の一部として備えられている。圧力調整器は、実質的に圧力変動を減少された加圧水を供給するよう構成された調整器流出部と、圧力調整器に接続された調節制御装置とを有する。調節制御装置は、圧力調整器の流出側での圧力変動を精密に調整することにより、加圧装置に接続された洗浄システムに実質的に安定した加圧水を供給できる。

請求項（抜粋）：

給水設備から供給される水圧を上昇させるための加圧装置であって、前記給水設備にポンプ流入部が接続されて、該給水設備から供給される水圧よりも水圧が高く、且つ圧力変動を含んだ加圧水をポンプ流出部から吐出するポンプと、前記ポンプ流出部から吐出される圧力変動を含んだ加圧水を減衰器流入部から受け取って、該圧力変動の一部を減衰させた後、減衰器流出部から排出する圧力減衰器と、前記減衰器流出部から排出される加圧水を、調整器流入部から受け取って実質的に圧力変動を減衰させた後、調整器流出部から流出する圧力調整器とを備える加圧装置。

IPC (2件)：

G05D 16/02 , F17D 3/01

FI (2件)：

G05D 16/02 , F17D 3/01

Fターム (13件)：

3J071AA12 , 3J071BB02 , 3J071CC11 , 3J071DD36 , 3J071EE02 , 3J071EE24 , 3J071FF16 , 5H316AA07 , 5H316BB08 , 5H316DD20 , 5H316EE01 , 5H316GG20 , 5H316LL10

引用特許：

審査官引用 (7件)

復動式ダイヤフラムポンプの流量コントロールシステム
公報種別：公開公報出願番号：特願平9-115360 出願人：アネスト岩田株式会社
特開昭63-205701
特開平4-342880

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