特許

J-GLOBAL ID：200903063984091440

共振器の製造方法

発明者： ポール・ディー・ブラッドリー ,  ジョン・ディー・ラーソン・サード ,  リチャード・シー・ルビー
出願人/特許権者： アジレント・テクノロジーズ・インク
代理人 (1件)： 加藤 公久
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-057313
公開番号（公開出願番号）：特開2002-359534
出願日： 2002年03月04日
公開日（公表日）： 2002年12月13日
要約：

【要約】 (修正有)【課題】同一基板上に共振周波数の異なる共振器を組立てる。【解決手段】基板(71)上に共振器を製造する方法において、前記基板(71)上に底部電極(72)を堆積させ、圧電(PZ)層(74)を堆積させ、第1の厚さを備えた表面電極(76)を堆積させ、前記表面電極(76)の厚さを減少させて前記共振器の共振周波数を調節するようにした共振器の製造方法。

請求項（抜粋）：

基板上に共振器を製造する方法において、前記基板上に底部電極を堆積させ、圧電(PZ)層を堆積させ、第1の厚さを備えた表面電極を堆積させ、前記表面電極の厚さを減少させて前記共振器の共振周波数を調節するようにした共振器の製造方法。

IPC (3件)：

H03H 3/04 ,  H01L 41/22 ,  H03H 9/17

FI (3件)：

H03H 3/04 B ,  H03H 9/17 F ,  H01L 41/22 Z

Fターム (8件)：

5J108AA02 ,  5J108BB08 ,  5J108EE07 ,  5J108FF08 ,  5J108HH04 ,  5J108KK05 ,  5J108MM14 ,  5J108NB02

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 音響共振器とその製作方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平11-154956   出願人：ヒューレット・パッカード・カンパニー
• 半導体装置の製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平10-361160   出願人：トヨタ自動車株式会社
• 薄膜バルク音波共振子(FBAR)をウェーハ上で同調させる方法
  公報種別：公表公報   出願番号：特願平10-517529   出願人：ノキアモービルフォーンズリミテッド, ノキアモービルフォーンズインコーポレイテッド