特許
J-GLOBAL ID：200903064010203116
レーザ加工用被加工物支持装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
村井 隆
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-335362
公開番号（公開出願番号）：特開2002-144070
出願日： 2000年11月02日
公開日（公表日）： 2002年05月21日
要約：
【要約】【課題】 レーザ加工によりレーザ加工ステージ表面が荒れることがなく、保守性が良好なレーザ加工用被加工物支持装置を提供する。【解決手段】 テーブル1の上面に受光板を配置する面として受光板載置面2を形成し、ここに受光板10を載置固定する。また、テーブル1の上面に前記受光板上面よりも高い位置にレーザ加工ステージ20をスペーサ部3で支える。レーザ加工ステージ20は、レーザ光の透過率が90%以上の剛性を有する無機材料で構成されており、好ましくは軟化点温度が800°C以上である。
請求項（抜粋）：
被加工物支持面をなすレーザ加工ステージを、レーザ光の透過率が90%以上の剛性を有する無機材料で構成したことを特徴とするレーザ加工用被加工物支持装置。
Fターム (2件)：
引用特許：
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