特許
J-GLOBAL ID：200903064037575660

縦型熱処理装置

発明者：
大沢 哲

大沢 哲 について


出願人/特許権者：
東京エレクトロン株式会社

東京エレクトロン株式会社 について

, 
東京エレクトロン東北株式会社

東京エレクトロン東北株式会社 について


代理人 (1件)： 井上 俊夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-264905
公開番号（公開出願番号）：特開平9-082656
出願日： 1995年09月19日
公開日（公表日）： 1997年03月28日
要約：
【要約】【課題】 縦型熱処理装置の反応管の下端フランジ部とマニホールドの上端フランジ部をOリングにより気密にシールするにあたって、Oリングの劣化を抑えること。【解決手段】 二重管構造の反応管20において、外管2の下端部を下に向かうにつれて直径が大きくなるように傾斜させ、その傾斜部5の下端を外方に屈曲してフランジ部51を形成し、このフランジ部51とマニホールド1の上端フランジ部13とをOリング10を介して気密にシールする。傾斜部5を設けたことによりウエハボート33や保温筒32といった高温部からの光(熱線)の光路が石英中(外管2の下端部内)において少なくなり、Oリング10へ到達する熱線の量が少なくなる。更に傾斜部5の内方側及びフランジ部51の上面側に輻射熱シ-ルド部材6、7を夫々設けることで、より一層Oリング10へ到達する熱線の量が抑えられる。
請求項（抜粋）：
処理ガス供給管及び排気管が設けられたマニホ-ルドの上端フランジ部と加熱炉内に設けられた反応管の下端フランジ部とをシ-ル部材を介して気密に接合し、被処理基板を保持具に保持して前記マニホ-ルドの下端開口部から反応管内に搬入する縦型熱処理装置において、前記反応管の下端部の少なくとも内面に、下方に向かうにつれて直径が大きくなる傾斜部を少なくとも一部設けたことを特徴とする縦型熱処理装置。
IPC (2件)：
H01L 21/22 511 ,  H01L 21/205
FI (2件)：
H01L 21/22 511 Q ,  H01L 21/205
引用特許：
審査官引用 (4件)
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