特許
J-GLOBAL ID：200903064042355392

バリア多層膜及びその製造方法

発明者：
筑後 了治

筑後 了治 について

, 
木下 公男

木下 公男 について


出願人/特許権者：
住友重機械工業株式会社

住友重機械工業株式会社 について


代理人 (2件)： 高橋 敬四郎 ,  来山 幹雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-001286
公開番号（公開出願番号）：特開2005-034831
出願日： 2004年01月06日
公開日（公表日）： 2005年02月10日
要約：
【課題】 バリア性の高い多層膜を製造する。【解決手段】 湿式の塗布法を用い、被加工物上方に有機膜を成膜する。プラズマビーム発生源と、真空容器内に配置されプラズマビームの入射面を持つハースとを含み、プラズマビーム発生源からのプラズマビームをハースに収容された成膜用の蒸発材料に導いて成膜対象物上に膜を形成するイオンプレーティング法を用い、被加工物上方にSiON膜またはSiOx膜を成膜する。【選択図】 図3
請求項（抜粋）：
(a)湿式の塗布法を用い、被加工物上方に有機膜を成膜する工程と、 (b)プラズマビーム発生源と、真空容器内に配置されプラズマビームの入射面を持つハースとを含み、前記プラズマビーム発生源からのプラズマビームを前記ハースに収容された成膜用の蒸発材料に導いて成膜対象物上に膜を形成するイオンプレーティング法を用い、前記被加工物上方にSiON膜またはSiOx膜を成膜する工程と を有するバリア多層膜の製造方法。
IPC (5件)：
B05D7/24 ,  C23C14/10 ,  C23C14/32 ,  H05B33/10 ,  H05B33/14
FI (5件)：
B05D7/24 302Y ,  C23C14/10 ,  C23C14/32 F ,  H05B33/10 ,  H05B33/14 A
Fターム (24件)：
3K007AB11 ,  3K007AB12 ,  3K007AB13 ,  3K007AB18 ,  3K007DB03 ,  3K007FA01 ,  4D075AC64 ,  4D075AC92 ,  4D075AE03 ,  4D075BB26Z ,  4D075BB49X ,  4D075BB78Y ,  4D075BB92Z ,  4D075BB93Z ,  4D075BB94X ,  4D075CA42 ,  4D075DA06 ,  4D075DC24 ,  4D075EB42 ,  4K029AA11 ,  4K029BA46 ,  4K029BB03 ,  4K029BC01 ,  4K029CA03
引用特許：
出願人引用 (1件) 審査官引用 (3件)

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