特許
J-GLOBAL ID：200903026521221733
有機電界発光デバイス用浸透バリヤ-
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
上野 英夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-215684
公開番号（公開出願番号）：特開2000-058258
出願日： 1999年07月29日
公開日（公表日）： 2000年02月25日
要約：
【要約】【課題】電界発光デバイスにおいて、信頼性を高める為には、封止して水及び酸素が陰極や発光層に到達させないようにしなけらばならない。従来、様々なコーティングが考えられているが、数年の寿命を要する使い方をするとき又は高温多湿環境にさらされる場合を考慮すると、十分ではない。【解決手段】デバイスのポリマー層の上に、プラズマ気相成長法によって、酸化物もしくは窒化物を含む無機層を堆積する。その無機層の上に第二ポリマー層を堆積する。水又は酸素を吸収する化合物を含む第二バリヤー層を無機層とデバイス間に置いてもよい。
請求項（抜粋）：
水又は酸素がソースからデバイスに達するのを防ぐ方法であって、(a)前記デバイスと前記ソースとの間に第一ポリマー層を堆積するステップと、(b)前記デバイスの前記第一ポリマー層の上に、ECR-PECVDによって無機層を堆積するステップと、(c)前記無機層の上に第二ポリマー層を堆積するステップと、を有することを特徴とする方法。
IPC (3件)：
H05B 33/04
, H05B 33/10
, H05B 33/14
H05B 33/04
, H05B 33/10
, H05B 33/14 A
