基板周辺露光装置

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：小野由己男 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-004491
公開番号（公開出願番号）：特開平8-195338
出願日： 1995年01月13日
公開日（公表日）： 1996年07月30日
要約：

【要約】【目的】不要レジストに発泡現象を生じさせることがなく、スループットが高く、装置の管理維持も容易な基板周辺露光装置を提供する。【構成】基板に照射する光の照度の上限値ULがキーボード23からマイコン22へ入力される。基板1はチャック2に支持され、モータ3により回転する。UVランプ4からの光は反射鏡5で集められ、光ファイバ束6によってレンズユニット8を介して基板周辺部へ導かれる。レンズユニット8から照射される光の照度は照度検出器11によって検出され、マイコン22はその検出結果に基づきモータ17を駆動し、光ファイバ束6と反射鏡5との間の光路に配置された絞り体14を動かして光路を通過する光量を調節し、照射する光の照度を上限値UL以下に調節する。

請求項（抜粋）：

基板の周辺部に光を照射する照射手段と、該照射手段から照射する光の照度を検出する照度検出手段と、照射する光の照度の上限値を設定する上限設定手段と、該上限設定手段の設定値と前記照度検出手段の検出結果とに基づき、基板の周辺部に照射する光の照度を上限値以下に制御する照度制御手段とよりなることを特徴とする基板周辺露光装置。

IPC (2件)：

H01L 21/027 , G03F 7/20 521

FI (2件)：

H01L 21/30 577 , H01L 21/30 516 D

引用特許：

審査官引用 (6件)

特開平2-012811
特開昭63-244623
周辺露光装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-091820 出願人：株式会社ニコン

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