プラズマエッチング電極

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：小島隆司
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-124074
公開番号（公開出願番号）：特開平9-289197
出願日： 1996年04月22日
公開日（公表日）： 1997年11月04日
要約：

【要約】【課題】ダストの発生が少なく、高性能なプラズマエッチング電極を安価に作製する。【解決手段】プラズマにより消耗する部分(1)を金属シリコン又はガラス状カーボンで形成し、その他の部分(2)をガラス状カーボン被覆炭素材料により形成したプラズマエッチング電極。

請求項（抜粋）：

プラズマにより消耗する部分が金属シリコン又はガラス状カーボンから形成され、その他の部分がガラス状カーボンを被覆した炭素材料からなることを特徴とするプラズマエッチング電極。

IPC (2件)：

H01L 21/3065 , C23F 4/00

FI (2件)：

H01L 21/302 B , C23F 4/00 A

引用特許：

審査官引用 (5件)

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