フーリエ変換分光用干渉計

発明者： , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：谷義一 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-263534
公開番号（公開出願番号）：特開2000-088649
出願日： 1998年09月17日
公開日（公表日）： 2000年03月31日
要約：

【要約】【課題】高波数分解能を維持しつつ、より小型・安価なフーリエ変換分光用干渉計を提供する。【解決手段】入射光を平行にするコリメータレンズ3と、ビームを二つに分ける光分割鏡5と、2枚の平行な合わせ鏡で構成された、固定した光路長を保つ固定反射鏡7,8と、2枚の合わせ鏡で構成され光路長を変化させるため一方の鏡が移動可能である可動反射鏡9,10と、垂直反射用鏡11,12と、二つのビームを合わせるコリメータレンズ15と、検出器16から構成され、可動反射鏡9,10の位置に対する光強度の変化であるインターフェログラムを得て、コンピュータでフーリエ変換することによりスペクトル分布を求める。

請求項（抜粋）：

光源からの入射光を平行光にするコリメータレンズと、前記平行光を参照光路と可変光路に分割する光分割鏡と、前記参照光路中に固定され、前記光分割鏡からの光を受けて反射する固定反射鏡と、前記可変光路中に固定され、前記光分割鏡からの光を受けて反射する可動反射鏡と、前記固定反射鏡からの反射光と前記可動反射鏡からの反射光が前記光分割鏡を通して入射される集光レンズと、前記集光レンズの焦点に置かれ、前記光分割鏡からの光を受光する受光手段とを有し、前記可動反射鏡を並進移動させて、その位置に対する光の強度を測定してそのフーリエ変換を行うことによりスペクトルを得るフーリエ変換分光用干渉計であって、前記固定反射鏡と前記可動反射鏡として互いに平行な合わせ鏡を用いることによって光を複数回往復させ、鏡の並進移動距離の複数倍の光路長走査を実現し、波数分解能を高めたことを特徴とするフーリエ変換分光用干渉計。

IPC (2件)：

G01J 3/45 , G01B 9/02

FI (2件)：

G01J 3/45 , G01B 9/02

Fターム (30件)：

2F064CC04 , 2F064EE09 , 2F064FF07 , 2F064GG12 , 2F064GG15 , 2F064GG20 , 2F064GG44 , 2F064GG51 , 2F064GG57 , 2F064GG66 , 2F064HH08 , 2F064JJ15 , 2F064KK04 , 2G020BA02 , 2G020BA12 , 2G020BA14 , 2G020BA20 , 2G020CA12 , 2G020CB05 , 2G020CB24 , 2G020CB25 , 2G020CB43 , 2G020CC07 , 2G020CC22 , 2G020CC47 , 2G020CC55 , 2G020CD04 , 2G020CD16 , 2G020CD22 , 2G020CD35

引用特許：

審査官引用 (7件)

レーザ干渉計
公報種別：公開公報出願番号：特願平3-285684 出願人：株式会社ニコン
特開平2-067935
差動光路干渉計及びこの差動光路干渉計を用いたフーリエ変換分光器
公報種別：公開公報出願番号：特願平7-317513 出願人：株式会社オプトリサーチ

全件表示

前のページに戻る