特許
J-GLOBAL ID：200903064289982330
X線回折装置および回折X線の測定方法
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
渡辺 徳廣
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-257350
公開番号（公開出願番号）：特開2001-083105
出願日： 1999年09月10日
公開日（公表日）： 2001年03月30日
要約：
【要約】【課題】 斜出射X線回折法において、空気散乱X線の影響を低減し、薄膜微小部の構造に関するより詳細な情報が得られるX線回折装置を提供する。【解決手段】 試料4に一次X線2を照射し、該一次X線が試料によって回折されて試料から出射する回折X線の回折角度および強度を測定することにより、試料の結晶構造を評価するX線回折装置であって、試料4に一次X線2を照射するX線源1と、該X線源1から照射された一次X線2が空気散乱して発生する散乱X線を遮蔽する遮蔽体4と、該遮蔽体4を指定位置に移動させる遮蔽体移動手段6と、該遮蔽体により散乱X線を除いた一次X線が照射される試料を回転する試料回転機構10と、該試料によって回折されて出射する回折X線の回折角度および強度を測定するX線測定手段9を有することを特徴とするX線回折装置。
請求項（抜粋）：
試料に一次X線を照射し、該一次X線が試料によって回折されて試料から出射する回折X線の回折角度および強度を測定することにより、試料の結晶構造を評価するX線回折装置であって、試料に一次X線を照射するX線源と、該X線源から照射された一次X線が空気散乱して発生する散乱X線を遮蔽する遮蔽体と、該遮蔽体を指定位置に移動させる遮蔽体移動手段と、試料を回転する試料回転機構と、該試料によって回折されて出射する回折X線の回折角度および強度を測定するX線測定手段を有することを特徴とするX線回折装置。
Fターム (17件)：
2G001AA01
, 2G001BA18
, 2G001CA01
, 2G001DA03
, 2G001DA06
, 2G001GA13
, 2G001GA14
, 2G001HA09
, 2G001HA12
, 2G001JA08
, 2G001KA08
, 2G001MA05
, 2G001NA15
, 2G001NA17
, 2G001PA12
, 2G001SA02
, 2G001SA10
