特許
J-GLOBAL ID：200903064291979932
レーザ加工装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
西澤 均
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-166294
公開番号（公開出願番号）：特開2005-342762
出願日： 2004年06月03日
公開日（公表日）： 2005年12月15日
要約：
【課題】加工時のレーザ照射による熱の影響で、被加工物載置機構部を構成する吸着板が損傷することを抑制、防止して、吸着板を交換することなく加工精度を高く保持することが可能なレーザ加工装置を提供する。【解決手段】厚み方向に貫通する吸引孔21aを有する吸着板21と、吸着板を保持する吸着板保持部材22と、厚み方向に貫通する複数の吸引孔23aを有し、吸着板上に載置されて被加工物10を保持する被加工物保持板23とを具備しており、吸着板の吸引孔および被加工物保持板の吸引孔を介して吸引することにより、被加工物が前記被加工物保持板上に吸引保持されるようにする。 吸着板上には開口を有する枠部材24を配設し、枠部材の開口24aに被加工物保持板をはめ込むことにより、吸着板上に被加工物保持板を保持する。【選択図】図2
請求項（抜粋）：
レーザ光源から発振されたレーザビームを被加工物に照射することにより、被加工物に所定のレーザ加工を行うように構成されたレーザ加工装置であって、
厚み方向に貫通する複数の吸引孔を有する吸着板と、
前記吸着板を保持する吸着板保持部材と、
厚み方向に貫通する複数の吸引孔を有し、前記吸着板上に載置されて被加工物を保持する被加工物保持板と
を具備し、
前記吸着板の吸引孔および前記被加工物保持板の吸引孔を介して吸引することにより、被加工物が前記被加工物保持板上に吸引保持されるように構成されていること
を特徴とするレーザ加工装置。
IPC (1件)：
FI (1件)：
Fターム (1件)：
引用特許：
出願人引用 (1件)
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レ-ザ加工装置
公報種別：公開公報
出願番号：特願平11-009607
出願人：セイコーインスツルメンツ株式会社
審査官引用 (2件)
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