特許
J-GLOBAL ID：200903064307364402
塗布装置、および、基板の製造方法、ならびに、これを用いたカラーフィルターの製造装置および製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-321585
公開番号（公開出願番号）：特開2000-140740
出願日： 1998年11月12日
公開日（公表日）： 2000年05月23日
要約：
【要約】【課題】基板が大型化しても、高い生産性で膜厚が均一となる塗布を実現するとともに、表面にいかなる塗膜が形成された大型基板でも、タクトタイムを増加させずに基板厚さを測定して、高精度かつ高速に塗布液を塗布することができる塗布装置および塗布方法ならびにカラーフィルター製造装置および製造方法を提供する。【解決手段】塗布工程より以前の工程で、基板の非塗膜面側から基板厚さを測定した後、基板載置台の表面のうねりの状態に対応して塗布液吐出手段が自動的に基板載置台に対して昇降し、あるいは、傾斜することにより、表面にいかなる塗膜が形成された大型基板に対しても、高精度かつ高速で塗布液を塗布することができる。
請求項（抜粋）：
(イ)塗布液がその表面に塗布される基板が載置される基板載置台と、(ロ)該載置台上に載置される基板表面に対して離間して位置し、該基板表面に対し塗布液を吐出する吐出口を有する塗布液吐出手段と、(ハ)前記載置台と前記吐出手段とを、前記載置台上に載置される基板表面に沿って一定方向に、相対的に移動せしめる移動手段と、を備えた塗布液の塗布装置において、(ニ)予め、前記載置台表面の、前記相対的移動方向および/またはそれに直角な方向における、うねりに関するデータが格納せしめられたうねりデータ格納手段と、(ホ)前記移動手段により前記相対的移動が行われる間に、該うねりデータ格納手段に格納されているうねりデータに基づき、前記載置台と前記吐出手段との離間距離を制御する離間距離制御手段と、が設けられたことを特徴とする塗布装置。
IPC (5件)：
B05C 5/02
, B05D 7/00
, G02B 5/20 101
, G02F 1/1335 505
, G03F 7/16 501
B05C 5/02
, B05D 7/00 H
, G02B 5/20 101
, G02F 1/1335 505
, G03F 7/16 501
2H025AA00
, 2H025AB13
, 2H025EA04
, 2H048BA43
, 2H048BB28
, 2H091FA02Y
, 2H091FC05
, 2H091GA01
, 2H091GA02
, 2H091LA12
, 4D075AC02
, 4D075AC82
, 4D075AC88
, 4D075AC93
, 4D075CA48
, 4D075DA06
, 4D075DC22
, 4D075DC24
, 4D075EA05
, 4F041AA05
, 4F041AB01
, 4F041BA05
, 4F041BA22
, 4F041BA56
