特許
J-GLOBAL ID：200903064364923396
円盤状基板の検査装置及び検査方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
樋口 正樹
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2007-275836
公開番号（公開出願番号）：特開2009-105230
出願日： 2007年10月23日
公開日（公表日）： 2009年05月14日
要約：
【課題】撮影画像に基づいて円盤状基板の表面における膜や欠陥部分等の状態をより精度良く検査することのできる円盤状基板の検査装置を提供するものである。【解決手段】 撮影部から順次出力される前記赤画像信号、前記緑画像信号及び前記青画像信号から、RGB空間にて撮影画像を表す赤成分画像データ、緑成分画像データ及び青成分画像データを生成するRGB画像データ生成手段(S1)と、前記赤成分画像データ、緑画像成分画像データ及び青成分画像データから、前記撮影画像を彩度に基づいて表す彩度成分画像データ及び前記撮影画像を色相に基づいて表す色相成分画像データのいずれかを生成する色属性画像データ生成手段(S2)とを有し、生成された前記彩度成分画像データ及び前記色相成分画像データのいずれかに基づいて前記撮影画像の解析を行う(S3、S4)ように構成される。【選択図】図3
請求項（抜粋）：
円盤状基板の表面を撮影して得られる撮影画像を解析して当該円盤状基板の検査を行う検査装置であって、
前記円盤状基板を撮影してRGB色空間での赤画像信号、緑画像信号及び青画像信号を出力する撮影部と、
該撮影部から順次出力される前記赤画像信号、前記緑画像信号及び前記青画像信号を処理する画像処理部とを有し、
前記画像処理部は、
前記撮影部から順次出力される前記赤画像信号、前記緑画像信号及び前記青画像信号から、RGB空間にて撮影画像を表す赤成分画像データ、緑成分画像データ及び青成分画像データを生成するRGB画像データ生成手段と、
前記赤成分画像データ、緑画像成分画像データ及び青成分画像データから、前記撮影画像を彩度に基づいて表す彩度成分画像データ及び前記撮影画像を色相に基づいて表す色相成分画像データのいずれかを生成する色属性画像データ生成手段とを有し、
生成された前記彩度成分画像データ及び前記色相成分画像データのいずれかに基づいて前記撮影画像の解析を行う検査装置。
IPC (1件)：
FI (1件)：
Fターム (6件)：
4M106AA01
, 4M106CA38
, 4M106CA46
, 4M106DB04
, 4M106DJ19
, 4M106DJ20
出願人引用 (8件)
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審査官引用 (5件)
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