加速度センサ

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：作田康夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-390794
公開番号（公開出願番号）：特開2002-277484
出願日： 1994年12月27日
公開日（公表日）： 2002年09月25日
要約：

【要約】【課題】本発明によれば、検出加速度方向が加速度センサの取付け面と並行で、且つ、プリント板に表面実装できる加速度センサを構成できるので、エアバックのような用途に加速度センサを応用した時にも容易に実装できる加速度センサを提供することにある。【解決手段】本加速度センサはセラミック基板109に加速度検出素子102及び電子回路103を実装し、セラミックカバー101をセラミック基板109に接着することにより加速度検出素子102及び電子回路103を気密に封止し、導体パターン104,106により電子回路103からの配線を外部に取出すと共に半田105,107によりプリント板108に固定できるようになっている。

請求項（抜粋）：

基板と、前記基板上に設けられ、ガラスあるいはシリコンを積層して形成した加速度検出素子と、前記基板上に設けられ、前記加速度検出素子からの情報を加速度に応じた電気信号に変換して出力する電子回路とを備えた加速度センサにおいて、前記加速度検出素子を前記基板上に加速度検出方向が前記基板と実質的に平行となるように配置したことを特徴とする加速度センサ。

IPC (5件)：

G01P 15/125 , B60R 21/32 , G01P 15/08 , H01L 23/02 , H01L 29/84

FI (5件)：

G01P 15/125 , B60R 21/32 , H01L 23/02 B , H01L 29/84 Z , G01P 15/08 P

Fターム (13件)：

3D054EE14 , 3D054EE27 , 4M112AA02 , 4M112BA07 , 4M112CA23 , 4M112CA33 , 4M112CA35 , 4M112DA18 , 4M112DA19 , 4M112DA20 , 4M112EA02 , 4M112FA20 , 4M112GA01

引用特許：

出願人引用 (3件)

特開平4-312006
加速度信号発生器
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-036471 出願人：マンネスマンキーンツレゲゼルシヤフトミツトベシユレンクテルハフツング
加速度センサ
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-094220 出願人：株式会社村田製作所

審査官引用 (2件)

特開平4-312006
加速度信号発生器
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-036471 出願人：マンネスマンキーンツレゲゼルシヤフトミツトベシユレンクテルハフツング

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