特許
J-GLOBAL ID：200903064441457573
2波長レーザダイオード検査方法および検査装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
青山 葆 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-318139
公開番号（公開出願番号）：特開2003-124556
出願日： 2001年10月16日
公開日（公表日）： 2003年04月25日
要約：
【要約】【課題】 2波長レーザダイオードに搭載された2つのレーザチップの発光点位置および発光軸の傾きを迅速に検査するための方法および検査装置を提供する。【解決手段】 検査装置に測定のための基準面および基準Vブロックを設け、レーザダイオードステムを該基準面および該基準Vブロックにを押し当てることにより、画像認識によらず、レーザダイオードの高さ位置およびステム中心を規定し、2つのレーザチップを同時に発光させて、発光点位置および発光軸の傾きを観測する。
請求項（抜粋）：
発光波長の異なる2つのレーザチップを内臓する2波長レーザダイオードの2つの発光点の位置およびそれら2つの発光点間距離を測定する2波長レーザダイオードの検査方法であって、検査装置の基準面に対しレーザダイオードの基準面を突き当てる工程と、該レーザダイオードをVブロックに突き当てて該レーザダイオードの中心軸を前記検査装置の中心と略一致させる工程と、上記発光波長の異なる2つのレーザチップを共に発光させる工程と、前記検査装置の中心と略一致した光軸を有する対物レンズで上記2つの波長の異なるレーザチップから出射される光を集光し、該対物レンズを光軸方向に移動させて、計測用カメラの受光面で観測される光画像の寸法を測定する工程と、を有することを特徴とする2波長レーザダイオード検査方法。
IPC (2件)：
FI (2件)：
Fターム (6件)：
2G086EE03
, 5F073AB15
, 5F073FA21
, 5F073HA05
, 5F073HA09
, 5F073HA11
