特許
J-GLOBAL ID:200903064446931893

圧電体素子、インクジェットヘッド、およびインクジェット式記録装置

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (3件): 岩橋 文雄 ,  内藤 浩樹 ,  永野 大介
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2006-245225
公開番号(公開出願番号):特開2008-066623
出願日: 2006年09月11日
公開日(公表日): 2008年03月21日
要約:
【課題】高湿度環境下における信頼性に優れた圧電体素子、インクジェットヘッド、およびインクジェット式記録装置を提供する。【解決手段】第1の電極層13と、第2の電極層16と、前記第1の電極層13と第2の電極層16との間に設けられ鉛を含有してなる圧電体層14と、前記圧電体層14の層間、前記第1の電極層13と前記圧電体層14との層間、前記第2の電極層16と前記圧電体層14との層間、のうち少なくとも一部に設けられた、水分を遮断するバリア層15と、を備える。これにより、圧電体層14中の鉛と水分との電気化学的な反応を止め、高湿度環境においても圧電体層14の高い絶縁特性を維持することができるため、高湿度環境下における信頼性に優れた圧電体素子が得られる。【選択図】図1
請求項(抜粋):
第1電極層と、 第2電極層と、 前記第1電極層と第2電極層との間に設けられ鉛を含有してなる圧電体層と、 前記圧電体層の層間、前記第1電極層と前記圧電体層との層間、前記第2電極層と前記圧電体層との層間、のうち少なくとも一部に設けられた、水分を遮断するバリア層と、 を備えることを特徴とする圧電体素子。
IPC (7件):
H01L 41/09 ,  B41J 2/045 ,  B41J 2/055 ,  B41J 2/16 ,  H01L 41/187 ,  H01L 41/18 ,  H01L 41/22
FI (6件):
H01L41/08 J ,  B41J3/04 103A ,  B41J3/04 103H ,  H01L41/18 101D ,  H01L41/18 101Z ,  H01L41/22 Z
Fターム (16件):
2C057AF65 ,  2C057AF93 ,  2C057AG15 ,  2C057AG44 ,  2C057AG85 ,  2C057AN01 ,  2C057AP02 ,  2C057AP14 ,  2C057AP25 ,  2C057AP31 ,  2C057AP32 ,  2C057AP52 ,  2C057AP57 ,  2C057AQ02 ,  2C057BA04 ,  2C057BA14
引用特許:
出願人引用 (4件)
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