圧電体素子及びその製造方法、並びに該圧電体素子を用いたインクジェットヘッド及びインクジェット式記録装置

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (10件)：前田弘 , 小山廣毅 , 竹内宏 , 嶋田高久 , 竹内祐二 , 今江克実 , 藤田篤史 , 二宮克也 , 原田智雄 , 井関勝守
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-359762
公開番号（公開出願番号）：特開2005-244174
出願日： 2004年12月13日
公開日（公表日）： 2005年09月08日
要約：

【課題】高湿度環境下において高電圧で駆動しても絶縁性の低下が生じない、高い信頼性を有する圧電体素子が容易に得られるようにする。【解決手段】圧電体素子20の圧電体薄膜3に含まれる鉛量を化学量論組成よりも少なくする。すなわち、圧電体薄膜3を、Pb(1-x)(Zr(1-s)Tis)O3(0<s<1)で表記されるチタン酸ジルコン酸鉛、又は、Aをペロブスカイト型結晶構造のAサイトに入る添加金属イオンとし、Bをペロブスカイト型結晶構造のBサイトに入る添加金属イオンとして、(Pb(1-x-y)Ay)(Zr(1-s-t)TisBt)O3(0<s<1、0<t<1-s)で表記されるチタン酸ジルコン酸鉛系酸化物で構成し、Pb組成欠損量を示すxの値を0を超え0.15以下とする。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

第1の電極膜と圧電体薄膜と第2の電極膜とがこの順に積層されてなる積層体を備えた圧電体素子であって、上記圧電体薄膜は、ペロブスカイト型結晶構造を示す酸化物であって化学組成式が、 Pb(1-x)(Zr(1-s)Tis)O3(0<s<1) で表記されるチタン酸ジルコン酸鉛、又は、Aをペロブスカイト型結晶構造のAサイトに入る添加金属イオンとし、Bをペロブスカイト型結晶構造のBサイトに入る添加金属イオンとして、 (Pb(1-x-y)Ay)(Zr(1-s-t)TisBt)O3(0<s<1、0<t<1-s) で表記されるチタン酸ジルコン酸鉛系酸化物からなっており、上記チタン酸ジルコン酸鉛及びチタン酸ジルコン酸鉛系酸化物の化学組成式において化学量論組成からのPb組成欠損量を示すxの値が、0を超え0.15以下であることを特徴とする圧電体素子。

IPC (9件)：

H01L41/09 , B41J2/045 , B41J2/055 , B41J2/16 , C23C14/08 , H01L41/18 , H01L41/187 , H01L41/22 , H01L41/24

FI (10件)：

H01L41/08 C , C23C14/08 K , B41J3/04 103A , B41J3/04 103H , H01L41/18 101D , H01L41/18 101J , H01L41/18 101Z , H01L41/22 Z , H01L41/22 A , H01L41/08 J

Fターム (25件)：

2C057AF65 , 2C057AF93 , 2C057AG40 , 2C057AG44 , 2C057AG85 , 2C057AP02 , 2C057AP14 , 2C057AP52 , 2C057BA04 , 2C057BA14 , 4K029AA06 , 4K029AA07 , 4K029AA09 , 4K029AA24 , 4K029BA13 , 4K029BA21 , 4K029BA50 , 4K029BB02 , 4K029BB07 , 4K029BC00 , 4K029BD00 , 4K029CA06 , 4K029DC39 , 4K029EA00 , 4K029EA01

引用特許：

出願人引用 (3件)

特開平4-349675号公報(第2頁)
インクジェット式記録ヘッド及びインクジェット式記録装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平10-214481 出願人：セイコーエプソン株式会社
圧電体薄膜素子、これを用いたアクチュエータ、インクジェット式記録ヘッド、並びに圧電体薄膜素子の製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平9-099452 出願人：セイコーエプソン株式会社

審査官引用 (9件)

圧電体素子及びこれを用いたインクジェット式記録ヘッド
公報種別：公開公報出願番号：特願2000-219792 出願人：セイコーエプソン株式会社
圧電材料およびその製造方法およびそれを用いた圧電振動子および圧電発音体
公報種別：公開公報出願番号：特願平9-352771 出願人：松下電器産業株式会社
インクジェット式記録ヘッド
公報種別：公開公報出願番号：特願平10-337706 出願人：松下電器産業株式会社

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引用文献：

審査官引用 (3件)

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