特許

J-GLOBAL ID：200903064547429188

窒化チタン薄膜

発明者： 佐藤 守 ,  藤井 兼栄 ,  堀野 裕治 ,  木内 正人 ,  茶谷原 昭義 ,  長坂 浩志
出願人/特許権者： 工業技術院長 ,  株式会社荏原製作所
代理人 (2件)： 萩野 平 (外4名) ,  萩野 平 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-032894
公開番号（公開出願番号）：特開平5-193916
出願日： 1992年01月24日
公開日（公表日）： 1993年08月03日
要約：

【要約】【目的】 高硬度で耐摩耗性が大きい、新らしい結晶構造を有する窒化チタン薄膜を得ること。【構成】 格子定数が0.414nmから0.422nmの範囲にある面心立方晶構造のTiNの結晶粒子を含有することを特徴とする窒化チタン薄膜。

請求項（抜粋）：

格子定数が0.414nmから0.422nmの範囲にある面心立方晶構造をしたTiNの結晶粒子を含有することを特徴とする窒化チタン薄膜。

IPC (2件)：

C01B 21/076 ,  C23C 14/06