セラミックヒータ

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：安富康男 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-239560
公開番号（公開出願番号）：特開2001-135460
出願日： 2000年08月08日
公開日（公表日）： 2001年05月18日
要約：

【要約】【課題】シリコンウエハの加熱面の温度を均一化することができ、シリコンウエハの破損を防止することができるセラミックヒータを提供すること。【解決手段】セラミック基板の表面または内部に発熱体が形成されるとともに、このセラミック基板の温度を測定する測温素子と、前記発熱体に電力を供給する制御部と、前記測温素子により測定された温度データを記憶する記憶部と、前記温度データから前記発熱体に必要な電力を演算する演算部とを備えてなり、前記発熱体は、少なくとも2以上の回路に分割されてなり、各回路には異なる電力が供給されるように構成されていることを特徴とするセラミックヒータ。

請求項（抜粋）：

セラミック基板の表面または内部に発熱体が形成されるとともに、このセラミック基板の温度を測定する測温素子と、前記発熱体に電力を供給する制御部と、前記測温素子により測定された温度データを記憶する記憶部と、前記温度データから前記発熱体に必要な電力を演算する演算部とを備えてなり、前記発熱体は、少なくとも2以上の回路に分割されてなり、各回路には異なる電力が供給されるように構成されていることを特徴とするセラミックヒータ。

IPC (5件)：

H05B 3/00 310 , H05B 3/00 365 , H05B 3/00 370 , H01L 21/027 , H05B 3/20 393

FI (5件)：

H05B 3/00 310 E , H05B 3/00 365 J , H05B 3/00 370 , H05B 3/20 393 , H01L 21/30 567

引用特許：

審査官引用 (3件)

加熱装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-033445 出願人：日本碍子株式会社
ヒーターおよびその製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平9-210014 出願人：イビデン株式会社
ベーキング装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平9-159647 出願人：ソニー株式会社

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