特許
J-GLOBAL ID：200903064659065057

物体表面の欠陥検出方法及び欠陥検出装置

発明者：
安田 朋広

安田 朋広 について

, 
▲濱▼田 長生

▲濱▼田 長生 について


出願人/特許権者：
松下電工株式会社

松下電工株式会社 について


代理人 (1件)： 安藤 淳二 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-208516
公開番号（公開出願番号）：特開2001-033397
出願日： 1999年07月23日
公開日（公表日）： 2001年02月09日
要約：
【要約】【課題】 平板状の対象物を振動による影響を無くして欠陥検出を可能とする物体表面の欠陥検出方法及び欠陥検出装置を提供すること。【解決手段】 対象物9と、同対象物9を照明する光源2及び撮像手段3との相対的な位置関係を所定量変化させながらその撮像手段にて対象物9を撮像し、得られた連続的な複数の画像情報から対象物9表面全点の、同一点における明度が最大となる正反射照明入射角度の分布を示す角度分布を演算し、この角度分布の演算結果から該対象物9表面の欠陥を検出する物体表面の欠陥検出方法において、対象物9を平板状として水平移動させるとともに、同対象物の上下方向の変位量を検出する変位検出過程を設け、上記対象物表面の欠陥状態を判定し検出する過程で、その上下方向の変位量にて所定移動量毎に得られた角度分布演算値を補正し判定する。
請求項（抜粋）：
対象物と、同対象物を照明する光源及び撮像手段との相対的な位置関係を所定量変化させながらその撮像手段にて対象物を撮像し、得られた連続的な複数の画像情報から対象物表面全点の、同一点における明度が最大となる正反射照明入射角度の分布を示す角度分布を演算し、この角度分布の演算結果から該対象物表面の欠陥を検出する物体表面の欠陥検出方法において、対象物を平板状として水平移動させるとともに、同対象物の上下方向の変位量を検出する変位検出過程を設け、上記対象物表面の欠陥状態を判定し検出する過程で、その上下方向の変位量にて所定移動量毎に得られた角度分布演算値を補正し判定するようなしたことを特徴とする物体表面の欠陥検出方法。
IPC (2件)：
G01N 21/89 ,  G01B 11/30
FI (2件)：
G01N 21/89 610 A ,  G01B 11/30 A
Fターム (36件)：
2F065AA02 ,  2F065AA17 ,  2F065AA31 ,  2F065AA39 ,  2F065AA61 ,  2F065BB13 ,  2F065BB15 ,  2F065DD14 ,  2F065EE04 ,  2F065FF66 ,  2F065GG04 ,  2F065GG16 ,  2F065HH12 ,  2F065JJ03 ,  2F065JJ16 ,  2F065JJ26 ,  2F065QQ08 ,  2F065QQ23 ,  2F065QQ24 ,  2F065QQ25 ,  2F065QQ29 ,  2F065QQ41 ,  2F065QQ42 ,  2F065QQ51 ,  2G051AA65 ,  2G051AB07 ,  2G051AC21 ,  2G051BA20 ,  2G051CA04 ,  2G051CB01 ,  2G051CD07 ,  2G051DA08 ,  2G051EA11 ,  2G051EA14 ,  2G051ED04 ,  2G051ED07
引用特許：
審査官引用 (6件)
全件表示

前のページに戻る

TOP

BOTTOM