特許

J-GLOBAL ID：200903064723020186

単結晶の製造方法および製造装置

発明者： 廣瀬 富佐雄 ,  木藤 泰男 ,  杉山 尚宏 ,  岡本 篤人
出願人/特許権者： 株式会社デンソー ,  株式会社豊田中央研究所
代理人 (1件)： 伊藤 求馬
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-092684
公開番号（公開出願番号）：特開平11-268990
出願日： 1998年03月20日
公開日（公表日）： 1999年10月05日
要約：

【要約】【課題】 直径の大きな単結晶を、簡易な方法で、効率よく成長させ、製作コストを低減する。【解決手段】 ルツボ1の蓋体12中央部に台座13を設けて種結晶2を接合し、その下方の空間を単結晶の成長領域とする。原料粉末3はこの単結晶の成長領域より外方のルツボ1外周部に配置し、ルツボ1内に外周部から中央部へ向かう昇華ガスGの流れを形成する。種結晶2にその周囲から原料の昇華ガスGが供給されるようにすることで、径方向の成長速度を大きくし、直径の大きな単結晶を得ることでできる。

請求項（抜粋）：

単結晶製造容器内に配置した種結晶に、製造しようとする単結晶の原料ガスを供給し、上記種結晶上に単結晶を成長させる単結晶の製造方法において、上記種結晶を上記単結晶製造容器の略中央部に、上記原料ガスの供給部を外周部に配置し、上記種結晶にその周囲から原料ガスが供給されるようにして単結晶を成長させることを特徴とする単結晶の製造方法。

IPC (2件)：

C30B 23/00 ,  C30B 29/36

FI (2件)：

C30B 23/00 ,  C30B 29/36 A

引用特許：

審査官引用 (4件)

• 炭化珪素単結晶の製造装置及び炭化珪素単結晶の製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平8-025396   出願人：株式会社デンソー
• 特開昭62-291022
  
• 炭化珪素単結晶の製造方法およびそれに用いる種結晶
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平8-202164   出願人：新日本製鐵株式会社
• 特開昭62-291022