特許
J-GLOBAL ID：200903064731366040
シーム接合装置
発明者：
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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-339067
公開番号（公開出願番号）：特開平10-166159
出願日： 1996年12月04日
公開日（公表日）： 1998年06月23日
要約：
【要約】 (修正有)【課題】 接合時にパッケージとリッドが動いてしまうのを防ぐと同時に、種々の大きさや形状のパッケージとリッドに対しても容易に対応できるようにする。【解決手段】 間欠的に回転するターンテーブル1と、パッケージが挿入される開口2Bを有しターンテーブルに着脱自在に取り付けられる複数の位置ずれ防止部材2と、開口にパッケージを1個宛供給するパッケージ供給機構7と、パッケージの上にリッドを載置するリッド供給機構8と、パッケージとリッドとの位置合わせを行う位置合わせ機構9と、位置合わせされたパッケージとリッドとの仮付けを行う仮付け機構と、リッドの任意の対向する2辺をシーム接合する第1のシーム接合機構11と、リッドの他の対向する2辺をシーム接合する第2のシーム接合機構12と、シーム接合されたパッケージとリッドとをターンテーブルから排出する排出機構13とからなる。
請求項（抜粋）：
電子部品素子の収納されたパッケージとリッドとをシーム接合して電子部品の気密封止を行うシーム接合装置において、間欠的に回転するターンテーブルと、前記パッケージが挿入される開口を有する板状部材であって前記ターンテーブルに着脱自在に取り付けられる複数の位置ずれ防止部材と、該位置ずれ防止部材の前記開口に前記パッケージを1個宛供給するパッケージ供給機構と、前記位置ずれ防止部材の開口に供給された前記パッケージの上に前記リッドを載置するリッド供給機構と、前記位置ずれ防止部材の開口に供給された前記パッケージと前記リッドとの位置合わせを行う位置合わせ機構と、位置合わせされた前記パッケージと前記リッドとの仮付けを行う仮付け機構と、前記リッドの任意の対向する2辺をシーム接合する第1のシーム接合機構と、前記リッドの他の対向する2辺をシーム接合する第2のシーム接合機構と、シーム接合された前記パッケージとリッドとを前記ターンテーブルから排出する排出機構とからなることを特徴とするシーム接合装置。
IPC (3件)：
B23K 11/06 540
, B23K 37/047 501
, H01L 23/02
B23K 11/06 540
, B23K 37/047 501 A
, H01L 23/02 C
