特許
J-GLOBAL ID：200903017438229871
チップを収納したパッケ-ジのキャップ仮止め用治具とキャップ接合装置およびその方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
功力 妙子
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-219585
公開番号（公開出願番号）：特開平8-255849
出願日： 1995年08月04日
公開日（公表日）： 1996年10月01日
要約：
【要約】 (修正有)【課題】 チップをパッケ-ジにマイクロパラレルシ-ム接合法などにより気密封止する際に,キャップを仮止めするためのキャップ仮止め治具およびこの治具を使用したキャップ接合装置とキャップ接合方法を提供する。【解決手段】 チップを収納したパッケ-ジの開口端部に載置したキャップを仮止めするためのキャップ仮止め用治具において,磁性材で形成した平板の上面に形成され,内部にパッケ-ジを収納する凹部を有するキャリアと,このキャリアと略同一形状であってキャリアの凹部に対向して形成した凹部に充填された永久磁石を有する非磁性材で形成された吸着板とを有し,吸着板をワ-クテ-ブルに位置決めして設置し,この吸着板上方にキャリアを搬送して永久磁石に吸着させてキャリアを位置決めする。
請求項（抜粋）：
チップを収納したパッケ-ジの開口端部に載置したキャップを仮止めするためのキャップ仮止め用治具において,磁性材で形成した平板の上面に形成され,内部に前記パッケ-ジを収納する凹部を有するキャリアと,このキャリアと略同一形状であって,前記キャリアの凹部に対向して形成した凹部に充填された永久磁石とを有する非磁性材で形成された吸着板とを有し,前記吸着板をワ-クテ-ブルに位置決めして設置し,この吸着板上方に前記キャリアを搬送して前記永久磁石に吸着させて前記キャリアを位置決めするようにしたことを特徴とするチップを収納したパッケ-ジのキャップ仮止め用治具。
IPC (2件)：
H01L 23/00
, B23K 11/06 540
H01L 23/00 Z
, B23K 11/06 540
