焦点位置検出装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：山口孝雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-067221
公開番号（公開出願番号）：特開平9-236408
出願日： 1996年02月28日
公開日（公表日）： 1997年09月09日
要約：

【要約】【課題】被検物体の表面からの散乱光や回折光に起因する従来の検出誤差を回避した高精度な焦点位置検出装置。【解決手段】被検物体の表面に対して所定の入射角で照明光を照射するための照明光学系と、照明光に対する被検物体の表面からの反射光を対物光学系を介して受光するための受光素子とを備えている。そして、被検物体の表面と対物光学系の焦点面との位置ずれ量にかかわらず被検物体の表面からの反射光を常に受光素子の受光面上に結像させるために、受光素子の受光面は被検物体の表面に入射する照明光の主光線を含む平面とほぼ共役に構成されている。

請求項（抜粋）：

所定の対物光学系を介した被検物体の表面からの反射光の結像位置に基づいて、前記被検物体の表面と前記対物光学系の焦点面との位置ずれを検出する焦点位置検出装置において、前記被検物体の表面に対して所定の入射角で照明光を照射するための照明光学系と、前記照明光に対する前記被検物体の表面からの反射光を前記対物光学系を介して受光するための受光素子とを備え、前記受光素子の受光面は前記被検物体の表面に入射する照明光の主光線を含む平面とほぼ共役に構成されていることを特徴とする焦点位置検出装置。

引用特許：

審査官引用 (3件)

表面形状測定装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平3-337457 出願人：株式会社東芝
特開昭61-111402
面位置検出装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-247748 出願人：株式会社ニコン

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