特許
J-GLOBAL ID：200903064787085303
液晶パネル及びその製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (4件)：
梅田 明彦
, 上柳 雅誉
, 藤綱 英吉
, 宮坂 一彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-311569
公開番号（公開出願番号）：特開2007-164165
出願日： 2006年11月17日
公開日（公表日）： 2007年06月28日
要約：
【課題】大気圧プラズマによる部分的な表面処理を利用して、高い平坦性及び液晶の配向性の均一さを確保した液晶パネルを提供する。【解決手段】液晶パネルの製造において、透明電極91を形成した透明なガラス基板90の全面に亘って配向膜となるポリイミド膜92を形成し、透明電極の端子部の位置に対応する配向膜の部分を該配向膜の他の部分から仕切るようにマスク77を配置し、大気圧及びその近傍の圧力下において電極78と配向膜との間で気体放電を発生させ、この気体放電により所定のガスの励起活性種を生成し、該励起活性種に配向膜の部分を選択的に曝露して除去する。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
透明電極を形成した透明基板の上にその全面に亘って配向膜を形成し、前記透明電極の端子部の位置に対応する前記配向膜の周辺部分を該配向膜の他の部分から仕切るためのマスク手段を前記配向膜の上に、前記配向膜の前記他の部分の表面との間に僅かなギャップを画定するように配置し、大気圧及びその近傍の圧力下において電極と前記配向膜の前記周辺部分との間で気体放電を発生させ、所定のガスを前記ギャップ内に噴出させかつ該ギャップを介して前記気体放電の発生領域に供給して前記気体放電により前記所定のガスの励起活性種を生成し、前記励起活性種に前記配向膜の前記周辺部分を選択的に曝露して除去する工程からなることを特徴とする液晶パネルの製造方法。
IPC (3件)：
G02F 1/133
, H05H 1/24
, G02B 5/20
G02F1/1337
, H05H1/24
, G02B5/20 101
, G02F1/1337 515
, G02F1/1337 520
, G02F1/1335 505
2H048BA11
, 2H048BA62
, 2H048BB02
, 2H048BB08
, 2H048BB10
, 2H048BB37
, 2H048BB42
, 2H090HB08Y
, 2H090HC14
, 2H090HC16
, 2H090HC18
, 2H090HD14
, 2H090JA05
, 2H090JA11
, 2H090JC06
, 2H090LA01
, 2H090MB14
, 2H091FA02Y
, 2H091FB02
, 2H091FB04
, 2H091FB12
, 2H091FC25
, 2H091GA16
, 2H091LA12
, 2H091LA30
出願人引用 (2件)
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プラズマ処理方法およびその装置
公報種別：公開公報
出願番号：特願平4-160915
出願人：松下電工株式会社, 岡崎幸子, 小駒益弘
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表面処理装置
公報種別：再公表公報
出願番号：JP1996000935
出願人：セイコーエプソン株式会社
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