特許
J-GLOBAL ID：200903064796088447
ウェーハ研磨パッドのツルーイング装置
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (1件)：
志賀 正武 (外9名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-218371
公開番号（公開出願番号）：特開2000-052230
出願日： 1998年07月31日
公開日（公表日）： 2000年02月22日
要約：
【要約】【課題】 研磨パッドに対して平行にツルーイング砥石部を当接し、安定して研磨パッドをツルーイングすることができるウェーハ研磨パッドのツルーイング装置を提供することを目的としている。【解決手段】 ツルーイング装置1は、砥粒層2aを有するツルーイング砥石部2と、ツルーイング砥石部2を傾動回転自在に支持する砥石部支持機構5とを備えており、ツルーイング砥石部2は、研磨パッド31の自転によって生じる研磨パッド31との摩擦によって回転される。また、ツルーイング砥石部2と研磨パッド31との当接角度は、アーム揺動機構7と回転数検知手段9とを備えた当接角度制御手段41によって制御されるようになっており、研磨パッド31は安定してツルーイングされる。
請求項（抜粋）：
プラテン上に貼付された研磨パッド上で複数枚のウェーハを回転させつつ研磨するウェーハ研磨装置に付設され、前記研磨パッドの表面をツルーイングするウェーハ研磨パッドのツルーイング装置であって、円環状の砥粒層を有するツルーイング砥石部と、前記ツルーイング砥石部を傾動回転自在に支持する砥石部支持機構と、先端に前記支持機構を介してツルーイング砥石部を連結したアーム部と、前記アーム部を水平旋回自在に支持するアーム支持部と、前記ツルーイング砥石部と前記研磨パッドとの当接角度を制御するための当接角度制御手段とを備え、前記ツルーイング砥石部は、前記研磨パッド表面の円環状をなすウェーハ研磨領域に当接されつつ自転する研磨パッドとの摩擦によって回転することを特徴とするウェーハ研磨パッドのツルーイング装置。
IPC (2件)：
B24B 37/00
, H01L 21/304 622
B24B 37/00 A
, H01L 21/304 622 M
3C058AA07
, 3C058AA11
, 3C058AA19
, 3C058AB01
, 3C058AB06
, 3C058AB08
, 3C058BA01
, 3C058BA04
, 3C058BA09
, 3C058BB02
, 3C058BC02
, 3C058DA17
