感光性樹脂組成物及びその製造方法

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：小島隆司 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-004528
公開番号（公開出願番号）：特開2000-206688
出願日： 1999年01月11日
公開日（公表日）： 2000年07月28日
要約：

【要約】【解決手段】式(1)で示される繰り返し単位を有する重量平均分子量が1,300〜11,000の感光性樹脂と式(2)で示される三級アミン化合物とを含有してなることを特徴とする感光性樹脂組成物。【化1】(Rは水素原子又は1,2-ナフトキノンジアジド-5-スルホン酸エステル残基であり、R中のスルホン酸エステル残基の割合が3〜27モル%である。mは0〜3の数、Xは炭素数6〜20のアルキル基、アリール基又はアラルキル基、Y、Zは炭素数1〜20のアルキル基である。)【効果】本発明の感光性樹脂組成物は、感度安定性が良好で、金属基板等の腐食を引き起こす心配がない上、基材に対する密着性に優れ、半導体素子、液晶素子等の表示素子及び磁気ヘッドといった電子部品の加工用として好適に用いることができる。

請求項（抜粋）：

下記一般構造式(1)で示される繰り返し単位を有する重量平均分子量が1,300〜11,000の感光性樹脂と、下記一般構造式(2)で示される三級アミン化合物とを含有してなることを特徴とする感光性樹脂組成物。【化1】(式中、Rは水素原子又は1,2-ナフトキノンジアジド-5-スルホン酸残基であり、かつ、R中の1,2-ナフトキノンジアジド-5-スルホン酸残基の割合が3〜27モル%である。mは0〜3の数である。)【化2】(式中、Xは炭素数6〜20のアルキル基、アリール基又はアラルキル基であり、Y、Zはそれぞれ炭素数1〜20のアルキル基である。)

IPC (3件)：

G03F 7/023 501 , G03F 7/004 501 , H01L 21/027

FI (3件)：

G03F 7/023 501 , G03F 7/004 501 , H01L 21/30 502 R

Fターム (13件)：

2H025AA00 , 2H025AA14 , 2H025AB16 , 2H025AB17 , 2H025AB20 , 2H025AC01 , 2H025AD03 , 2H025BE02 , 2H025CB29 , 2H025CB45 , 2H025CB55 , 2H025CC03 , 2H025CC20

引用特許：

出願人引用 (6件)

ポジ型フォトレジスト組成物
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-263012 出願人：信越化学工業株式会社
特開昭63-236030
特開平2-185556

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