特許
J-GLOBAL ID：200903064915699182
ペリクル
発明者：
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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-006443
公開番号（公開出願番号）：特開2005-202011
出願日： 2004年01月14日
公開日（公表日）： 2005年07月28日
要約：
【課題】従来より知られている長方形の枠であって、長辺と短辺とで同じ厚みの枠をそのまま利用するにもかかわらず、長方形を大型化しても前述してきた問題を有すること無く、枠の歪を最小とするような及びその製造方法を提供する。【解決手段】枠にペリクル膜を張設する際に長辺方向にかける張力と短辺方向にかける張力とをそれぞれ個別に異方性をもたせるように制御することによって、ペリクル膜の張力による枠の内側への歪みを抑制する。また、ペリクル膜を張設する際に適した張力かどうかの判別方法を提供する。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
短辺において短辺方向と垂直方向の張力T1と長辺において長辺と垂直方向の張力T2が異なる大きさで張設されていることを特徴とするペリクル。
IPC (2件)：
FI (2件)：
G03F1/14 J
, H01L21/30 502P
