特許
J-GLOBAL ID：200903064930136968
ウェーハ収納容器のウェーハカセット
発明者：
出願人/特許権者：
,
代理人 (1件)：
薬師 稔 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-289158
公開番号（公開出願番号）：特開平9-107026
出願日： 1995年10月12日
公開日（公表日）： 1997年04月22日
要約：
【要約】【課題】 ウェーハの位置ずれを抑制し,ウェーハ同士の接触,ウェーハ表面の汚染,およびウェーハ表面の損傷を防止できるウェーハ収納容器のウェーハカセットを提供する。【解決手段】 上下面がそれぞれ開口したケース形の収納カセット1の左右両側壁の内面部に,多数の整列みぞ4をそれぞれ形成して多数のシリコンウェーハ2を並列に収納するようにする。また,収納カセット1の上下面部にそれぞれ着脱自在に取り付けられる上部ウェーハ押さえ板8および下部ウェーハ押さえ板8Aを備え,各ウェーハ押さえ板8・8Aの両側端部をそれぞれ係止部9に屈曲形成するとともに,一対の係止部9・9間の中央部には多数の弾性板11をシリコンウェーハ2の収納方向に並べ設ける。そして,各弾性板11から突起部13をそれぞれ突出させてその表面にシリコンウェーハ2の上部周縁,又は下部周縁を収容するVみぞ14を切り欠き成形する。
請求項（抜粋）：
上下面部が開口したケース形の収納カセットの対向壁の内面部に,複数の整列みぞをそれぞれ形成してウェーハを並列に収納するウェーハ収納容器のウェーハカセットにおいて,上記収納カセットの上下面部をそれぞれ着脱自在に覆うウェーハ押さえ板を備え,各ウェーハ押さえ板の両側端部をそれぞれ係止部に形成するとともに,この一対の係止部間の中央部には複数の弾性板部を上記ウェーハの収納方向に並べ設け,各弾性板部から突起を突出させてその表面には該ウェーハの周縁部を収容するV字状のみぞを切り欠いたことを特徴とするウェーハ収納容器のウェーハカセット。
IPC (2件)：
FI (2件)：
H01L 21/68 T
, B65D 85/38 R
