特許
J-GLOBAL ID：200903064970954329

エッチング形状予測方法

発明者：
小林 秀章

小林 秀章 について

, 
石栗 治郎

石栗 治郎 について


出願人/特許権者：
大日本印刷株式会社

大日本印刷株式会社 について


代理人 (1件)： 金山 聡
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-060861
公開番号（公開出願番号）：特開2002-256456
出願日： 2001年03月05日
公開日（公表日）： 2002年09月11日
要約：
【要約】 (修正有)【課題】 特に、シャドウマスクの作製において、所望のエッチング形状を得ることができる方法を提供する。【解決手段】 順に、(a)1つ以上の第1のパラメータ群により表現可能な平面図形形状で、複数の耐エッチング膜の開口から露出した基材部について、それぞれ、所定の条件でエッチングを施し、各開口に対応したエッチング形状を得るエッチング処理と、(b)前記、複数の開口に対応するエッチング形状を、それぞれ、第2のパラメータ群のパラメータの値で表す、エッチングデータを得るエッチングデータ取得処理と、(c)パラメータ関数算出処理とを行ない、更に、パラメータ関数表示算出により求められた各関数から、第1のパラメータ群の所定の値の組みに対応する第2のパラメータ群の組みを求め、求められた第2のパラメータ群の組みより、第1のパラメータ群の所定の値の組みの形状を有する開口に対応するエッチング形状を予測する。
請求項（抜粋）：
エッチング用素材である基材の一面に配設された耐エッチング膜の開口から、露出した基材を貫通させずにエッチングして、形成されるエッチング形状を予測する方法であって、順に、(a)1つ以上の第1のパラメータ群によりパラメトリックに表現可能な平面図形形状で、パラメータの値の異なる組みからなる複数の耐エッチング膜の開口から露出した基材部について、それぞれ、所定の条件でエッチングを施し、各開口に対応したエッチング形状を得るエッチング処理と、(b)前記エッチング処理により得られた複数の開口に対応するエッチング形状に対して、1つ以上の第2のパラメータ群によりパラメトリックに表現可能な立体図形形状をあてはめて、複数の開口に対応するエッチング形状を、それぞれ、第2のパラメータ群のパラメータの値で表す、エッチングデータを得るエッチングデータ取得処理と、(c)得られたエッチングデータに対し、第2のパラメータ群のパラメータ毎にデータの補間を行ない、第2のパラメータ群の各パラメータを、第1のパラメータ群のパラメータにより表される関数として求める、パラメータ関数算出処理とを行ない、更に、パラメータ関数算出処理により求められた各関数から、第1のパラメータ群の所定の値の組みに対応する第2のパラメータ群の組みを求め、求められた第2のパラメータ群の組みより、第1のパラメータ群の所定の値の組みの形状を有する開口に対応するエッチング形状を予測することを特徴とするエッチング形状予測方法。
IPC (2件)：
C23F 1/00 ,  H01J 9/14
FI (3件)：
C23F 1/00 C ,  C23F 1/00 Z ,  H01J 9/14 G
Fターム (7件)：
4K057WA11 ,  4K057WA20 ,  4K057WB02 ,  4K057WD05 ,  4K057WE08 ,  4K057WN03 ,  5C027HH11
引用特許：
出願人引用 (4件)
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審査官引用 (4件)
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