特許

J-GLOBAL ID：200903065017654799

レーザ加工装置

発明者： 野田 浩昭 ,  北 信浩
出願人/特許権者： オリンパス光学工業株式会社
代理人 (1件)： 鈴江 武彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-045752
公開番号（公開出願番号）：特開平8-243775
出願日： 1995年03月06日
公開日（公表日）： 1996年09月24日
要約：

【要約】【目的】本発明は、観察用対物レンズの破損を防止でき、経済的に有利にできるレーザ加工装置を提供する。【構成】試料3の欠陥検出では、レボルバ5の操作により光軸14上に観察用対物レンズ6を位置させ、この観察用対物レンズ6を介して共焦点レーザ顕微鏡により試料3の欠陥を検出し、試料3の欠陥を検出すると、レボルバ5の操作により、今度は光軸14上にレーザ加工用対物レンズ7を位置させ、このレーザ加工用対物レンズ7を介してレーザ光源ユニット22からのレーザ光を試料3に照射してマーキングを施す。

請求項（抜粋）：

試料の欠陥を観察し、該試料の欠陥に対して加工用レーザ光を照射するレーザ加工装置において、観察用対物レンズとレーザ加工用対物レンズを光軸上に切換え可能に配設する対物レンズ切換え手段と、この対物レンズ切換え手段により前記光軸上に位置された前記観察用対物レンズを介して前記試料の欠陥を検出する顕微鏡手段と、この顕微鏡手段により検出された前記試料の欠陥に対し前記対物レンズ切換え手段により前記光軸上に位置された前記レーザ加工用対物レンズを介してレーザ光を照射しレーザ加工を施すレーザ加工手段とを具備したことを特徴とするレーザ加工装置。

IPC (2件)：

B23K 26/06 ,  G02B 21/18

FI (2件)：

B23K 26/06 A ,  G02B 21/18

引用特許：

審査官引用 (3件)

• マイクロレーザ装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-329893   出願人：株式会社ニコン
• 配線の切断装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-193535   出願人：富士通株式会社
• レーザリペア装置及び方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-035257   出願人：日本電気株式会社