特許
J-GLOBAL ID：200903065034925704
ガラス板表面のエッチング方法、ガラス板エッチング装置、フラットパネルディスプレイ用ガラス板及びフラットパネルディスプレイ
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：
野中 誠一
, 村上 雅秀
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-167969
公開番号（公開出願番号）：特開2005-298314
出願日： 2004年06月07日
公開日（公表日）： 2005年10月27日
要約：
【課題】 ガラス表面に均一にエッチング液を接触させ、ガラス表面を均一にエッチングすることが可能なエッチング方法及びこの方法に使用する装置の提供。【解決手段】 エッチング方法としては、ガラス表面にエッチング液を吹き付け、その後エッチング液を除去することによってガラス板のエッチングを行う。このとき、水平にしたガラス板の底面にエッチング液を吹き付けることが好適である。エッチング装置は、ガラス板を支持する支持具と、ガラス表面にエッチング液を噴射するノズル8と、該エッチング液を貯留するエッチング液貯留槽とを備えたガラスエッチング装置である。この装置において、支持具はガラス板を水平にして支持するものであることが好適であり、ノズル8は、水平に支持したガラス板の底面に向けてエッチング液を吹き付け可能に配置することが好適である。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
ガラス板の表面にエッチング液を吹き付けて前記ガラス板表面をエッチングするエッチング工程と、
前記吹き付けたエッチング液を前記ガラス板から除去するエッチング液除去工程
を備えることを特徴とするガラス板表面のエッチング方法。
IPC (1件)：
FI (2件)：
C03C15/00 D
, C03C15/00 C
4G059AA08
, 4G059AB06
, 4G059AB19
, 4G059AC01
, 4G059BB04
