特にEUV放射のための、ガス放電源

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (3件)：津軽進 , 宮崎昭彦 , 笛田秀仙
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2008-511830
公開番号（公開出願番号）：特表2008-541472
出願日： 2006年05月08日
公開日（公表日）： 2008年11月20日
要約：

本発明は、特にEUV放射及び/又は軟X線放射のためのガス放電源であって、該ガス放電源内の真空チャンバ内に、少なくともおおよそ円形の周縁を有する少なくとも2つの電極が、回転のために回転可能に取り付けられており、1つの空間位置において、前記電極が、ガス放電の点火のための小さい間隔を有しており、各場合において、回転の間、前記導電性材料の液体薄膜が、前記電極の円形周縁に渡って形成され、前記電極への電流の流れが、前記リザーバを介して可能にされるような仕方において、液体の前記導電性材料のためのリザーバに接続されている、ガス放電源に関する。当該ガス放電源において、前記電極は、各場合において、接続要素を介して前記リザーバに接続されており、これにより、間隙が、各電極の円形周縁の部分的なセクションに渡って、前記電極と前記接続要素との間に形成されることができると共に、前記間隙内に、前記のような液体の材料が、前記電極の回転の間に、前記接続要素内に形成された少なくとも1つの供給チャネルを介して前記リザーバから浸透することができる。

請求項（抜粋）：

特にEUV放射及び/又は軟X線放射のための、ガス放電源であって、該ガス放電源内の真空チャンバ内に、少なくともおおよそ円形の周縁を有する少なくとも2つの電極が、回転のために回転可能に取り付けられており、1つの空間位置において前記電極が、ガス放電の点火のための小さい間隔を有しており、前記電極は、各場合において、回転の間、導電性材料の液体薄膜が前記電極の前記円形周縁に渡って形を成すことができ、前記電極への電流の流れが前記リザーバを介して可能にされるような仕方で、液体の前記導電性材料のためのリザーバに接続されている、ガス放電源において、前記電極が、各場合において、接続要素を介して前記リザーバに接続されており、これにより、間隙が、各電極の円形周縁の部分的なセクションに渡って、前記電極と前記接続要素との間に形成され、前記間隙内に前記液体の、導電性材料が、前記電極の回転の間に、前記接続要素内に形成された少なくとも1つの供給チャネルを介して前記リザーバから浸透することができることを特徴とする、ガス放電源。

IPC (2件)：

H01L 21/027 , H05G 2/00

FI (2件)：

H01L21/30 531S , H05G1/00 K

Fターム (4件)：

4C092AA06 , 4C092AA07 , 4C092AA15 , 5F046GC03

引用特許：

審査官引用 (1件)

極紫外放射又は軟X線放射を生成する方法及び装置
公報種別：公表公報出願番号：特願2006-525971 出願人：コニンクリユケフィリップスエレクトロニクスエヌ.ブイ., フラウンホーファー-ゲゼルシャフトツアフェルデルングデアアンゲヴァンテンフォルシュングエーファオ

引用文献：

審査官引用 (1件)

Integrating Philips' extreme UV source in the alpha-tools

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